基于低頻噪聲與加速老化試驗(yàn)相結(jié)合的VCSEL預(yù)篩選方法，涉及一種垂直腔面發(fā)射激光器的預(yù)篩選方法，解決現(xiàn)有對VCSEL的篩選方法存在可靠性低且不具備普適性等問題，一、根據(jù)VCSEL器件結(jié)構(gòu)搭建其噪聲譜測量裝置；二、測量VCSEL器件的初始低頻電噪聲；三、測量室溫下經(jīng)24h連續(xù)電功率老化試驗(yàn)后的VCSEL噪聲變化量；四、測量熱應(yīng)力加速試驗(yàn)下待測VCSEL器件的缺陷狀態(tài)，并確立由缺陷狀態(tài)變化量引起的1/f噪聲功率譜密度；五、確定最佳噪聲判據(jù)閾值，建立待測VCSEL器件預(yù)篩選判據(jù)模型，對VCSEL器件預(yù)篩選；該發(fā)明可以更加有效地對初測噪聲較小，經(jīng)過老化試驗(yàn)后卻較早失效的VCSEL器件進(jìn)行篩選，同時(shí)對同一批次噪聲閾值一致的器件進(jìn)行預(yù)篩選，實(shí)現(xiàn)對VCSEL器件的有效精確篩選。