本申請實施例提供一種半導(dǎo)體器件的耐量測試裝置及方法,通過電流沖擊單元按照設(shè)定峰值電流值、設(shè)定電流上升率以及設(shè)定脈沖周期向待測半導(dǎo)體器件輸入電流沖擊信號,并通過測試單元測試待測半導(dǎo)體器件上的電流沖擊信號、電流沖擊信號的測試脈沖次數(shù)以及待測半導(dǎo)體器件的器件狀態(tài)后,由主控單元根據(jù)待測半導(dǎo)體器件上的電流沖擊信號、電流沖擊信號的測試脈沖次數(shù)以及待測半導(dǎo)體器件的器件狀態(tài)生成待測半導(dǎo)體器件的電流上升率耐量值。如此,能夠?qū)雽?dǎo)體器件的電流上升率耐受能力進(jìn)行有效量化,以便于后續(xù)準(zhǔn)確評估半導(dǎo)體器件的電流上升率耐受能力,進(jìn)而采取必要手段降低半導(dǎo)體器件的失效比例。
聲明:
“半導(dǎo)體器件的耐量測試裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)