亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學分析技術(shù)

> 用于處理氮化物結(jié)構(gòu)而沒有二氧化硅沉積的方法和裝置

用于處理氮化物結(jié)構(gòu)而沒有二氧化硅沉積的方法和裝置

1083   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:56:56
提供了在氮化硅蝕刻步驟期間除去膠態(tài)二氧化硅沉積物在高縱橫比結(jié)構(gòu)的表面上的生長的技術(shù)。使用高選擇性過蝕刻步驟以除去沉積的膠態(tài)二氧化硅。所公開的技術(shù)包括使用磷酸從具有形成在具有高縱橫比的窄間隙或溝槽結(jié)構(gòu)中的氮化硅的結(jié)構(gòu)中除去氮化硅,在所述結(jié)構(gòu)中通過水解反應(yīng)在所述窄間隙或溝槽的表面上形成了膠態(tài)二氧化硅沉積物。使用第二蝕刻步驟,其中形成膠態(tài)二氧化硅沉積物的水解反應(yīng)是可逆的,并且由于氮化硅的消耗,附近的磷酸中的二氧化硅的濃度現(xiàn)在較低,平衡驅(qū)動反應(yīng)向反方向進行,使沉積的二氧化硅溶解回溶液中。
聲明:
“用于處理氮化物結(jié)構(gòu)而沒有二氧化硅沉積的方法和裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽:
化學分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記