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鋅鎵氧材料薄膜及其制備方法

845 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:56:36

本發(fā)明提供了一種鋅鎵氧材料薄膜，所述鋅鎵氧材料薄膜中鋅與鎵的原子比小于1:2，所述鋅鎵氧材料薄膜為尖晶石結構。鋅和鎵的原子比例與傳統(tǒng)的1：2相比，鎵原子的占比更高，當Zn和Ga的化學計量比發(fā)生變化時，在一定范圍內(nèi)形成ZnGaO材料仍然可以保持尖晶石的ZnGa₂O₄晶體結構。這種鋅鎵氧材料薄膜制備的光電探測器件呈現(xiàn)出了更高的峰值響應度，且暗電流和響應時間的參數(shù)基本沒有變化，為提升ZnGaO紫外探測器的性能參數(shù)提供了有效的方法。在光電器件的制備方面具有潛在的應用前景。并且，本發(fā)明提供的鋅鎵氧材料薄膜的制備工藝簡單，反應過程容易控制。

聲明：

“鋅鎵氧材料薄膜及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)