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用于TFT-LCD顯示屏用ITO蝕刻液及制備方法

1015 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 08:04:27

本發(fā)明涉及濕電子化學品技術領域，且公開了一種用于TFT?LCD顯示屏用ITO蝕刻液，包括以下按重量百分比計的組分：硫酸10％?20％，添加劑1％?5％，表面活性劑0.05％?0.5％，消泡劑0.01％?0.1％，余量水，所述添加劑為無機鹽和有機物的混合物；本發(fā)明所公開的蝕刻液以硫酸為主要成分，生產工藝簡單，酸濃度易于控制及在線檢測；增加了表面活性劑具有表面張力低、無濁點、濕潤力強，有效降低ITO蝕刻液的表面張力，蝕刻過程中速率適中；消泡劑能消除蝕刻過程中表面活性劑產生的泡沫，滿足ITO膜蝕刻高精度加工要求，對光阻無破壞作用，對蝕刻線條保護好，圖形完整；同時采用的無機鹽可以調控蝕刻后ITO斜面坡度，以更好滿足客戶需求。

聲明：

“用于TFT-LCD顯示屏用ITO蝕刻液及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)