本發(fā)明公開了一種化學氣相沉積鉆石的設備,包括反應箱,所述反應箱底端設有若干支撐腳,所述反應箱內(nèi)底壁轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)軸,所述轉(zhuǎn)軸頂端與反應箱內(nèi)頂壁轉(zhuǎn)動連接,所述轉(zhuǎn)軸表面固定套有若干托盤,若干所述托盤下表面均設有若干電加熱器,所述反應箱外側(cè)壁一側(cè)設有微波發(fā)生器,所述反應箱外側(cè)壁設有若干散熱板,所述反應箱頂端設有兩個進氣管,兩個所述進氣管位于反應箱內(nèi)的一端均固定連接有連接管。本發(fā)明中,設置有反應箱、散熱板、圍板和風扇,從而可以對反應箱側(cè)壁進行降溫,進而避免反應箱內(nèi)側(cè)壁上發(fā)生沉積,并且,反應箱內(nèi)部設有多個托盤和放置板,放置板與托盤之前設有重量傳感器,使得該設備可以實時監(jiān)測合成鉆石的重量。
聲明:
“化學氣相沉積鉆石的設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)