一種銅化學(xué)機(jī)械研磨終點(diǎn)檢測(cè)方法，包括：提供半導(dǎo)體襯底，所述半導(dǎo)體襯底表面形成有待研磨結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)的材料含有銅；對(duì)所述待研磨結(jié)構(gòu)進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨，并產(chǎn)生研磨副產(chǎn)品；混合所述研磨副產(chǎn)品與顯色劑，并測(cè)量所述研磨副產(chǎn)品與研漿以及顯色劑的混合物的吸光度；根據(jù)所述研磨副產(chǎn)品與研漿以及顯色劑的混合物的吸光度計(jì)算所述研磨副產(chǎn)品與研漿以及顯色劑的混合物中銅的含量，并通過所述研磨副產(chǎn)品與研漿以及顯色劑的混合物中銅的含量檢測(cè)是否到達(dá)研磨終點(diǎn)。相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種銅化學(xué)機(jī)械研磨終點(diǎn)檢測(cè)裝置，以及銅化學(xué)機(jī)械研磨方法。通過本發(fā)明可以精確檢測(cè)銅化學(xué)機(jī)械研磨的終點(diǎn)。