本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備,包括支撐架和橫軸，所述橫軸設(shè)置在支撐架的下面，所述橫軸上設(shè)有萬(wàn)向輪，所述支撐架中心處設(shè)有SQUID檢測(cè)系統(tǒng)，所述SQUID檢測(cè)系統(tǒng)包括檢測(cè)外殼、SQUID探頭和聚焦透鏡，所述SQUID探頭設(shè)置在檢測(cè)外殼下面，所述聚焦透鏡設(shè)置在SQUID探頭下面，所述檢測(cè)外殼內(nèi)側(cè)頂端設(shè)有傳感器，所述檢測(cè)外殼一側(cè)設(shè)有光電管，所述檢測(cè)外殼另一側(cè)設(shè)有機(jī)械手，所述支撐架左側(cè)固定有SQUID控制器，所述SQUID檢測(cè)系統(tǒng)下面設(shè)有防震檢測(cè)臺(tái)，所述防震檢測(cè)臺(tái)下面設(shè)有旋轉(zhuǎn)臺(tái)，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)與支撐架轉(zhuǎn)動(dòng)連接。該實(shí)用新型，實(shí)現(xiàn)了無(wú)損檢測(cè)，檢測(cè)的精度較高，具有良好的分辨率，在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)分析和光電器件性能檢測(cè)等方面，具有很好的應(yīng)用前景。