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鈣鈦礦厚膜X射線探測(cè)器及其制備方法,鈣鈦礦厚膜X射線探測(cè)器的特征在于包括:透明導(dǎo)電膜基底、空穴傳輸層、鈣鈦礦厚膜、電子傳輸層、電極,其中,鈣鈦礦厚膜通過(guò)真空熱共蒸發(fā)法制得,并且位于空穴傳輸層和電子傳輸層之間。制備方法的特征在于:將不同的鈣鈦礦原料分別放入不同的束源爐,并分別加到各自的沸點(diǎn),同時(shí)對(duì)基底進(jìn)行原位加熱,然后進(jìn)行真空熱共蒸得到鈣鈦礦厚膜。本發(fā)明所提供的鈣鈦礦厚膜X射線探測(cè)器具有優(yōu)異的電荷傳輸性能、極快的響應(yīng)速度、較高的X射線靈敏度和較好的穩(wěn)定性,并且制備工藝簡(jiǎn)單,厚度可調(diào),易于在柔性基底上制備,在醫(yī)學(xué)成像、航空安檢等領(lǐng)域具有廣泛潛在應(yīng)用。
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“鈣鈦礦厚膜X射線探測(cè)器及其制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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