一種GeSn/
鈣鈦礦異質(zhì)結(jié)寬光譜探測器及其制作方法,該GeSn/鈣鈦礦異質(zhì)結(jié)寬光譜探測器包括:襯底;GeSn層,形成于所述底的一表面;鈣鈦礦層,形成于所述GeSn上;下電極,形成于所述襯底的另一表面;上電極,形成于所述鈣鈦礦層上。本發(fā)明還提供了該GeSn/鈣鈦礦異質(zhì)結(jié)寬光譜探測器的制作方法。本發(fā)明所提供的GeSn/鈣鈦礦異質(zhì)結(jié)寬光譜探測器的吸收波長可覆蓋從紫外光到中紅外范圍,成本低廉、可大批量生產(chǎn),在遙感、光通信、成像、氣體檢測、夜視、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域有著重要應(yīng)用前景。
聲明:
“GeSn/鈣鈦礦異質(zhì)結(jié)寬光譜探測器及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)