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分子牽引型真空動密封結構和超高速真空旋轉設備

1134 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 15:02:22

本發(fā)明公開了一種分子牽引型真空動密封結構和超高速真空旋轉設備，該分子牽引型真空動密封結構用于轉子和真空腔室二者之間的動密封，所述轉子的密封面和所述真空腔室的密封面二者之間形成密封間隙，所述真空腔室的密封面上設有導引槽，所述導引槽的出口與排氣腔連通，其中，高速旋轉的所述轉子將動量傳遞給氣體分子，所述氣體分子在所述導引槽內被牽引至所述排氣腔中排出。本發(fā)明利用線速度達到分子熱運動速度的剛體表面對氣體分子的牽引作用，實現超高速旋轉條件下對大直徑真空室的真空動密封。利用該結構，可以實現大直徑轉子超高速旋轉時，裝置兩端的氣壓從105Pa到10?7Pa的跨越。

聲明：

“分子牽引型真空動密封結構和超高速真空旋轉設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)