一種高電阻溫度系數(shù)氧化釩熱敏薄膜材料及其制備方法,本發(fā)明的高電阻溫度系數(shù)氧化釩熱敏薄膜材料是以
稀土元素釔作為摻雜劑制備,包括基片層和摻釔氧化釩薄膜層,摻釔氧化釩薄膜層包括釩、氧、釔三種元素,釔的原子百分比為1%-8%,釩的原子百分比為20-40%,其余為氧元素。本發(fā)明的制備方法是采用低濃度釔釩合金靶反應(yīng)濺射或采用高濃度釔釩合金靶和純金屬釩靶雙靶共反應(yīng)濺射的方法制備氧化釩熱敏薄膜材料。本發(fā)明制備的產(chǎn)品電阻溫度系數(shù)高、噪聲系數(shù)小,可提高非制冷焦平面陣列器件的靈敏度;且其方阻穩(wěn)定性高,可與器件微機電系統(tǒng)工藝兼容;此外產(chǎn)品中摻釔氧化釩薄膜為非晶結(jié)構(gòu),其電阻溫度特性無相變特征,可以避免熱滯噪聲問題。
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“高電阻溫度系數(shù)氧化釩熱敏薄膜材料及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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