本發(fā)明提供了一種鉬鈦合金濺射鍍膜靶材的制備方法,包括將單組份的鉬粉與鈦粉形成的二元合金粉末或者鉬粉、鈦粉以及鎳粉形成的三元合金粉末過篩處理的步驟、冷等靜壓步驟、真空燒結(jié)步驟、鍛造加工步驟、退火處理步驟、機加工步驟、潔凈處理步驟,制得鉬鈦合金濺射鍍膜靶材;本發(fā)明通過冷等靜壓、真空燒結(jié)及鍛造加工步驟,實現(xiàn)致密度高、耐腐蝕性能好且導(dǎo)電性能好的高性能鉬鈦合金的制備,制得實際密度趨近或者等于合金的理論密度,且平均晶粒尺寸≤50um的鉬鈦合金。
聲明:
“鉬鈦合金濺射鍍膜靶材的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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