本發(fā)明涉及一種
鈣鈦礦太陽能電池生產(chǎn)的實(shí)時(shí)監(jiān)測設(shè)備,包括光探測器、分光光度計(jì)以及檢測分析系統(tǒng),光探測器探測到的光線信號(hào)通過分光光度計(jì)分析后傳輸至檢測分析系統(tǒng),在真空密封艙內(nèi)設(shè)置有加熱
鈣鈦礦太陽能電池基片的加熱裝置,在真空密封艙的下部設(shè)置光源,光源的光線通過下透光孔垂直射入真空密封艙內(nèi)并透過鈣鈦礦太陽能電池基片及加熱裝置的透光孔后再通過真空密封艙的上透光孔從真空密封艙內(nèi)出來,光探測器對準(zhǔn)上透光孔監(jiān)測透過上透光孔的光線。本發(fā)明還提供一種鈣鈦礦太陽能電池生產(chǎn)的實(shí)時(shí)監(jiān)測設(shè)備的監(jiān)測方法。本發(fā)明通過監(jiān)測鈣鈦礦薄膜的生產(chǎn)過程中的性能參數(shù),控制其反應(yīng)進(jìn)程,提高各批次鈣鈦礦薄膜生產(chǎn)的重復(fù)性。
聲明:
“鈣鈦礦太陽能電池生產(chǎn)的實(shí)時(shí)監(jiān)測設(shè)備及其監(jiān)測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)