本實用新型公開了一種超聲波噴霧微波管式爐,屬于噴霧熱解法制備氧化物薄膜與
粉末冶金領(lǐng)域。本實用新型所述超聲波噴霧微波管式爐包括空氣壓縮泵、轉(zhuǎn)子流量器、超聲波噴霧器、超聲波造霧振動盤、霧滴、石英玻璃導(dǎo)管、石英玻璃管、微波加熱裝置、微波發(fā)生器、石英玻璃片、輔助加熱材料、保溫材料、粉體緩沖沉降瓶、粉體、粉體收集瓶、第一級堿液吸收尾氣裝置、第二級堿液吸收尾氣裝置;本實用新型工藝過程操作簡單,成本低廉,合理的利用物料,與傳統(tǒng)法噴霧法在高溫玻璃片寸底相比減少了物料的浪費(fèi)。創(chuàng)造了通過超聲波噴霧熱解法與微波管式加熱爐聯(lián)合同時制備ITO薄膜與粉體的可能。
聲明:
“超聲波噴霧微波管式爐” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)