一種基于軸向磁場耦合機械振動制備太陽能級
多晶硅的方法,將冶金硅表面酸洗、蒸餾水清洗,干燥,裝進高純石英坩堝內(nèi),并放入定向凝固爐中,抽真空;將爐溫升至1200~1350℃,保溫;向爐腔充入惰性氣體;將爐溫升至1500~1650℃,保溫;得到硅熔體;將硅熔體溫度降至1420~1570℃;引入軸向磁場和機械振動到硅熔體中;將坩堝以1~20μm/s的速率抽拉出加熱區(qū),開始長晶;長晶結(jié)束后,關(guān)閉勵磁系統(tǒng)和停止機械振動,將溫度降至1000~1300℃;關(guān)閉加熱系統(tǒng),隨爐冷卻。本發(fā)明得到的多晶硅材料組織中硅晶粒粗大且垂直于坩堝底部,缺陷少,雜質(zhì)含量低;工藝成本低、簡單;安全可靠、無污染;操作方便。
聲明:
“基于軸向磁場耦合機械振動制備太陽能級多晶硅的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)