權(quán)利要求書： 1.一種基于全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具的用于激光在線測(cè)厚儀的檢驗(yàn)方法，其特征在于：全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具包括安裝在激光在線測(cè)厚儀上的夾具組，所述夾具組為標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組，標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組上安裝不少于4張不同厚度的標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊，所述的標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組設(shè)置有兩副，兩副標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組分別安裝在激光在線測(cè)厚儀的量域兩端，所述的夾具組與激光在線測(cè)厚儀之間設(shè)置有微型水平尺可調(diào)裝置，通過微型水平尺可調(diào)裝置調(diào)節(jié)夾具組上標(biāo)準(zhǔn)量塊與測(cè)厚儀測(cè)量平面一致，其中，夾具組包括安裝在激光在線測(cè)厚儀上的支架一，安裝在支架一上的支架二，支架一與支架二之間為通過固定旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，同時(shí)支架一與支架二之間通過角度微調(diào)螺栓連接，支架二上設(shè)置微型水平儀，標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊固定在支架二上，角度微調(diào)螺栓和微型水平儀構(gòu)成整個(gè)微型水平尺可調(diào)裝置，所述的夾具組上還設(shè)置有自動(dòng)清吹裝置，通過自動(dòng)清吹裝置能夠在開始自動(dòng)檢驗(yàn)過程前自動(dòng)清潔標(biāo)準(zhǔn)量塊表面，用于激光在線測(cè)厚儀的檢驗(yàn)方法的步驟為：(1)檢測(cè)數(shù)據(jù)采集：檢測(cè)數(shù)據(jù)包括量域兩端的標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊的厚度數(shù)據(jù)，量域的兩端分別被配置至少兩個(gè)厚度不同的標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊；

(2)檢測(cè)數(shù)據(jù)分析：計(jì)算檢測(cè)數(shù)據(jù)的擬合回歸方程，獲得常量和斜率并回歸方程式，通過回歸方程式計(jì)算得出標(biāo)準(zhǔn)差和R?sq，其中，R?sq是測(cè)定系數(shù)，用于檢查擬合線能否很好地為數(shù)據(jù)建模，根據(jù)步驟(2)，常量和斜率的計(jì)算公式為：回歸線的斜率：

回歸線的截距：

其中，a為斜率，b為截距，xi為標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊厚度i的參考值，為所有標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊厚度的平均參考值，yij為第i個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊的第j個(gè)測(cè)量厚度的偏倚，g為標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊數(shù)，mi為第i個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊的仿行數(shù)， 為整個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊厚度偏倚均值；

(3)生成檢測(cè)結(jié)果：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差和R?sq得出線性分析結(jié)果、偏倚分析結(jié)果和穩(wěn)定性分析結(jié)果。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于激光在線測(cè)厚儀的檢驗(yàn)方法，其特征在于：根據(jù)步驟(2)，標(biāo)準(zhǔn)差和R?sq的計(jì)算公式為：yi＝b+axi；

其中，yi為第i個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊擬合響應(yīng)。

說(shuō)明書： 一種用于激光在線測(cè)厚儀的檢驗(yàn)方法技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本發(fā)明涉及激光測(cè)距技術(shù)領(lǐng)域，具體領(lǐng)域?yàn)橐环N用于激光在線測(cè)厚儀的檢驗(yàn)方法。

背景技術(shù)[0002] 激光在線測(cè)厚儀是一種無(wú)輻射危害、高精度的板/帶/箔材料生產(chǎn)線自動(dòng)厚度測(cè)量和質(zhì)量監(jiān)控儀器。近一二十年在世界范圍應(yīng)用發(fā)展迅速，已成為自動(dòng)厚度測(cè)量設(shè)備儀器的

一個(gè)大門類。激光在線測(cè)厚技術(shù)建立在上世紀(jì)末興起的光電像素測(cè)量技術(shù)基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)材

料厚度測(cè)微精度跨越式提升；同時(shí)無(wú)輻射危害的光學(xué)測(cè)量方法替代傳統(tǒng)工業(yè)中有危害射線

類測(cè)厚儀，從而在環(huán)境安全和測(cè)量精度兩方面基礎(chǔ)性意義卓著。

[0003] 目前激光在線測(cè)厚儀基本是采用橫向梁臂安裝上下兩只激光位移傳感器，傳感器檢測(cè)梁臂中間被測(cè)材料表面上下位移差得到厚度測(cè)量的方法?？梢詫?shí)現(xiàn)寬度量程(測(cè)量區(qū)

域)內(nèi)對(duì)被測(cè)材料進(jìn)行掃描式和定點(diǎn)式測(cè)量，精度分辨可以達(dá)到0.1微米級(jí)。

[0004] 激光在線測(cè)厚儀發(fā)展歷史不長(zhǎng)，目前國(guó)內(nèi)還沒有制定如射線測(cè)厚儀那樣國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，特別是在最基礎(chǔ)的儀器精度檢驗(yàn)中沒有一種無(wú)人為參與、全自動(dòng)運(yùn)行，并符合測(cè)量系統(tǒng)

分析量具檢驗(yàn)分析的方法。由此帶來(lái)的技術(shù)缺陷和不足如下：

[0005] 1、由于精度檢驗(yàn)過程繁雜且人為誤差因素影響，實(shí)際使用中往往采用某一項(xiàng)易于操作的檢驗(yàn)測(cè)試結(jié)果代替量具精度指標(biāo)使用，導(dǎo)致生產(chǎn)線正常使用時(shí)存在測(cè)量值偏離風(fēng)

險(xiǎn)。：

[0006] 例如，測(cè)量系統(tǒng)分析對(duì)量具精度定義理論上包含偏倚(Bias)、線性(Linearity)、穩(wěn)定性(Stability)、重復(fù)性(Repeatability)和再現(xiàn)性(Reproducibility)(后兩項(xiàng)亦稱

GR&R)等5項(xiàng)含義。由于沒有實(shí)現(xiàn)使用同一檢驗(yàn)裝置和同一方法同步完成上述5類精度的分

析，籠統(tǒng)使用易于檢驗(yàn)的重復(fù)性測(cè)試精度指標(biāo)代替精度定義，使得激光在線測(cè)厚儀計(jì)量精

度的科學(xué)評(píng)判依據(jù)和標(biāo)準(zhǔn)不能統(tǒng)一，測(cè)量精度缺少置信。

[0007] 2、目前激光在線測(cè)厚儀檢驗(yàn)過程采用標(biāo)準(zhǔn)量塊+人工取樣測(cè)量的方式，存在不能保證同一手法取樣測(cè)量，不能同一測(cè)量線點(diǎn)取樣，不能同一時(shí)效取樣等非一致性檢驗(yàn)缺陷，

且效率低下，檢驗(yàn)操作性差：

[0008] 例如，如果按照測(cè)量系統(tǒng)分析定義要完成激光在線測(cè)厚儀Bias、Linearity、和GR&R的量具分析,以往需要人工更換安裝不同標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊和手工測(cè)量相交叉的取樣方式。這

個(gè)過程存在人為非系統(tǒng)性誤差風(fēng)險(xiǎn)，無(wú)法保證檢驗(yàn)的一致性條件。同時(shí)人工的檢驗(yàn)手法效

率低，費(fèi)時(shí)費(fèi)力不能快速開展和完成，產(chǎn)線使用受到非常大限制和抵觸。

發(fā)明內(nèi)容[0009] 本發(fā)明的目的在于提供一種用于激光在線測(cè)厚儀的全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具及其檢驗(yàn)方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中精度檢驗(yàn)過程繁雜、存在測(cè)量值偏離風(fēng)險(xiǎn)、且效率低下、檢

驗(yàn)操作性差的問題。

[0010] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種用于激光在線測(cè)厚儀的全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具，包括安裝在激光在線測(cè)厚儀上的夾具組，所述夾具組為標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊

夾具組，標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組上安裝不少于4張不同厚度的標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊。

[0011] 優(yōu)選的，所述的標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組設(shè)置有兩副，兩副標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組分別安裝在激光在線測(cè)厚儀的量域兩端。

[0012] 優(yōu)選的，所述的夾具組與激光在線測(cè)厚儀之間設(shè)置有微型水平尺可調(diào)裝置，通過微型水平尺可調(diào)裝置調(diào)節(jié)夾具組上標(biāo)準(zhǔn)量塊與測(cè)厚儀測(cè)量平面一致。

[0013] 優(yōu)選的，所述的夾具組上還設(shè)置有自動(dòng)清吹裝置，通過自動(dòng)清吹裝置能夠在開始自動(dòng)檢驗(yàn)過程前自動(dòng)清潔標(biāo)準(zhǔn)量塊表面。

[0014] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供如下技術(shù)方案：一種用于激光在線測(cè)厚儀的檢驗(yàn)方法，其步驟為：

[0015] (1)檢測(cè)數(shù)據(jù)采集：檢測(cè)數(shù)據(jù)包括量域兩端的標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊的厚度數(shù)據(jù)，量域的兩端分別被配置至少兩個(gè)厚度不同的標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊；

[0016] (2)檢測(cè)數(shù)據(jù)分析：計(jì)算檢測(cè)數(shù)據(jù)的擬合回歸方程，獲得常量和斜率并回歸方程式，通過回歸方程式計(jì)算得出標(biāo)準(zhǔn)差和R?sq，其中，R?sq是測(cè)定系數(shù)，用于檢查擬合線能否

很好地為數(shù)據(jù)建模；

[0017] (3)生成檢測(cè)結(jié)果：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差和R?sq得出線性分析結(jié)果、偏倚分析結(jié)果和穩(wěn)定性分析結(jié)果。

[0018] 優(yōu)選的，根據(jù)步驟(2)，常量和斜率的計(jì)算公式為：[0019] 回歸線的斜率：[0020] 回歸線的截距：[0021] 其中，a為斜率，b為截距，xi為標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊厚度i的參考值， 為所有標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊厚度的平均參考值，yij為第i個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊的第j個(gè)測(cè)量厚度的偏倚，g為標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊

數(shù)，mi為第i個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊的仿行數(shù)， 為整個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊厚度偏倚均值。

[0022] 優(yōu)選的，根據(jù)步驟(2)，標(biāo)準(zhǔn)差和R?sq的計(jì)算公式為：[0023] yi＝b+axi；[0024][0025][0026] 其中，yi為第i個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊擬合響應(yīng)。[0027] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供如下技術(shù)方案：一種用于激光在線測(cè)厚儀的全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具的檢驗(yàn)方法，其步驟為：

[0028] (1)系統(tǒng)按照設(shè)定次數(shù)自動(dòng)掃描被測(cè)極片，并將掃描厚度測(cè)量域分為若干個(gè)區(qū)，即為厚度分區(qū)；

[0029] (2)將掃描得到的厚度數(shù)據(jù)進(jìn)行交叉量具R&R分析研究；[0030] (3)自動(dòng)生成并保存檢驗(yàn)結(jié)果和評(píng)測(cè)報(bào)告。。[0031] 優(yōu)選的，其特征在于：偏倚和線性的具體計(jì)算過程包括：[0032] (1)多次采集每個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊的厚度數(shù)據(jù)輸入；[0033] (2)計(jì)算輸入數(shù)據(jù)的擬合回歸方程；[0034] (3)獲得常量和斜率(回歸方程式)；[0035] (4)通過回歸方程式計(jì)算得出標(biāo)準(zhǔn)差和R?sq。[0036] 優(yōu)選的，其特征在于：重復(fù)性和再現(xiàn)性的具體計(jì)算過程包括：[0037] (1)將被測(cè)量的極片厚度數(shù)據(jù)輸入；[0038] (2)獲得包含作用的雙因子方差分析表；[0039] (3)判斷P值是否小于設(shè)定值，如果交互作用P值小于設(shè)定值，則生成使用不包含交互作用的雙因子方差分析表；如果P值大于設(shè)定值，則生成使用包含交互作用的雙因子方差

分析表；

[0040] (4)通過對(duì)應(yīng)方差分析表計(jì)算量具GR&R方差分量和量具評(píng)估。[0041] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：能夠在線快速的按照測(cè)量系統(tǒng)分析評(píng)測(cè)標(biāo)準(zhǔn)和方法完成，保證計(jì)量精度檢驗(yàn)一致性和標(biāo)準(zhǔn)性。使激光在線測(cè)厚儀的精度檢驗(yàn)和使

用得到關(guān)鍵性進(jìn)步；

[0042] 為激光在線測(cè)厚儀提供一套永備安裝和可調(diào)整、清潔的多張標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊檢驗(yàn)專用夾具組(通常為兩副，激光在線測(cè)厚儀量域兩端各安裝一,也可安裝在同一側(cè))，實(shí)現(xiàn)測(cè)厚

儀偏倚(Bias)、線性(Linearity)和穩(wěn)定性(Stability)檢驗(yàn)過程中計(jì)量精度標(biāo)準(zhǔn)傳遞一

致，杜絕人為非系統(tǒng)誤差，同時(shí)保證自動(dòng)檢驗(yàn)過程在產(chǎn)線實(shí)施可以無(wú)差別快速進(jìn)行；

[0043] 提供一套激光在線測(cè)厚儀測(cè)量系統(tǒng)分析量具分析全自動(dòng)運(yùn)行和檢驗(yàn)程序，實(shí)現(xiàn)測(cè)厚儀自動(dòng)運(yùn)行精度檢驗(yàn)過程、自動(dòng)采集檢驗(yàn)測(cè)量數(shù)據(jù)、自動(dòng)完成測(cè)量系統(tǒng)分析分析所需統(tǒng)

計(jì)計(jì)算、自動(dòng)生成精度評(píng)測(cè)結(jié)果報(bào)告，實(shí)現(xiàn)“一鍵式”操作完成測(cè)厚儀精度檢驗(yàn)并給出計(jì)量

精度評(píng)測(cè)結(jié)果報(bào)告；

[0044] 完全消除了人工取樣測(cè)量數(shù)據(jù)，根本性進(jìn)步了激光在線測(cè)厚儀計(jì)量精度檢驗(yàn)過程中保證同一手法、同一測(cè)量線點(diǎn)、同一時(shí)效取樣等一致性的方法，這使得激光在線測(cè)厚儀可

以完成同一標(biāo)準(zhǔn)的計(jì)量精度檢測(cè)和評(píng)價(jià)，實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)線量具使用可靠性的關(guān)鍵進(jìn)步。

附圖說(shuō)明[0045] 圖1為本發(fā)明的激光在線測(cè)厚儀的左視圖；[0046] 圖2為本發(fā)明的激光在線測(cè)厚儀的主視圖；[0047] 圖3為本發(fā)明的激光在線測(cè)厚儀的俯視圖；[0048] 圖4為本發(fā)明的夾具組主視圖；[0049] 圖5為本發(fā)明的夾具組俯視圖；[0050] 圖6為本發(fā)明的測(cè)量系統(tǒng)分析偏倚示意圖；[0051] 圖7為本發(fā)明的測(cè)量系統(tǒng)分析線性示意圖；[0052] 圖8為本發(fā)明的測(cè)量系統(tǒng)分析穩(wěn)定性示意圖；[0053] 圖9為本發(fā)明的測(cè)量系統(tǒng)分析重復(fù)性示意圖；[0054] 圖10為本發(fā)明的測(cè)量系統(tǒng)分析再現(xiàn)性示意圖；[0055] 圖11為本發(fā)明的三個(gè)人員對(duì)十個(gè)部件分別測(cè)量三次的掃描示意圖；[0056] 圖12為本發(fā)明的激光在線測(cè)厚儀全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具偏倚和線性檢驗(yàn)“一鍵式”運(yùn)行流程圖；

[0057] 圖13為本發(fā)明的激光在線測(cè)厚儀全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具偏倚和線性具體步驟流程圖；

[0058] 圖14為本發(fā)明的激光在線測(cè)厚儀全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具重復(fù)性和再現(xiàn)性檢驗(yàn)“一鍵式”運(yùn)行流程圖；

[0059] 圖15為本發(fā)明的激光在線測(cè)厚儀全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具重復(fù)性和再現(xiàn)性具體步驟流程圖。

[0060] 圖中：1.位移傳感器；2.夾具組；21.支架一；22.支架二；23.角度微調(diào)螺栓；24.微型水平儀；25.固定旋轉(zhuǎn)軸；3.測(cè)量面；4.過輥；5.標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊；6.自動(dòng)清吹裝置。

具體實(shí)施方式[0061] 下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于

本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他

實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

[0062] 請(qǐng)參閱圖1至5，本發(fā)明提供一種技術(shù)方案：一種用于激光在線測(cè)厚儀的全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具，包括安裝在激光在線測(cè)厚儀上的夾具組2，所述夾具組2為標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊

夾具組2，標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組2上安裝不少于4張不同厚度的標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊。

[0063] 所述的標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組2設(shè)置有兩副，兩副標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組2分別安裝在激光在線測(cè)厚儀的量域兩端或者夾具組安裝在激光在線測(cè)厚儀量域的一端。

[0064] 所述的夾具組2與激光在線測(cè)厚儀之間設(shè)置有微型水平尺可調(diào)裝置，通過微型水平尺可調(diào)裝置調(diào)節(jié)夾具組2上標(biāo)準(zhǔn)量塊與測(cè)厚儀測(cè)量平面一致。

[0065] 所述的夾具組2上還設(shè)置有自動(dòng)清吹裝置，通過自動(dòng)清吹裝置能夠在開始自動(dòng)檢驗(yàn)過程前自動(dòng)清潔標(biāo)準(zhǔn)量塊表面。

[0066] 通過上述技術(shù)方案，如圖1至3所示，依次為激光在線測(cè)厚儀的左視圖、主視圖和俯視圖，附圖標(biāo)號(hào)為：1.位移傳感器；2.夾具組；3.測(cè)量面；4.過輥；5.標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊；6.自動(dòng)清

吹裝置。

[0067] 位移傳感器1呈上下設(shè)置在兩個(gè)過輥之間，激光在線測(cè)厚儀的量域兩端分別安裝夾具組2，每個(gè)夾具組2對(duì)應(yīng)設(shè)置自動(dòng)清吹裝置，標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊5安裝在夾具組2上；

[0068] 如圖4至5所示，依次為夾具組2的主視圖和俯視圖，附圖標(biāo)號(hào)為：21.支架一；22.支架二；23.角度微調(diào)螺栓；24.微型水平儀；25.固定旋轉(zhuǎn)軸。

[0069] 夾具組2包括安裝在激光在線測(cè)厚儀上的支架一21，安裝在支架一21上的支架二22，支架一21與支架二22之間為通過固定旋轉(zhuǎn)軸25轉(zhuǎn)動(dòng)連接，同時(shí)支架一21與支架二22之

間通過角度微調(diào)螺栓23連接，支架二22上設(shè)置微型水平儀24，標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊5固定在支架二

22上，上述的角度微調(diào)螺栓23和微型水平儀24構(gòu)成整個(gè)微型水平尺可調(diào)裝置。

[0070] 測(cè)量系統(tǒng)分析中的術(shù)語(yǔ)很多，下面只介紹本發(fā)明中涉及到的概念，測(cè)量系統(tǒng)分析的五性：偏倚、線性、穩(wěn)定性、重復(fù)性和再現(xiàn)性(合稱R&R或GRR)。

[0071] 偏倚：觀測(cè)測(cè)量平均值和基準(zhǔn)值之間的偏差，又叫做正確性，偏倚是針對(duì)同一零件上的同一個(gè)特性而言，參見圖6。

[0072] 線性：在量具預(yù)期的工作范圍內(nèi)，偏倚值的差值，參見圖7。[0073] 穩(wěn)定性：同樣的特性在不同時(shí)間點(diǎn)用同樣的測(cè)量工具結(jié)果平均值的差異，參見圖8。

[0074] 重復(fù)性：同樣人使用同樣部件、同樣特性、同樣機(jī)器反復(fù)測(cè)定得到的測(cè)量值之間的分布，參見圖9。

[0075] 再現(xiàn)性：測(cè)量同一特性時(shí)，互相不同的人使用同樣的機(jī)器得到的測(cè)量值之間的平均差，參見圖10。

[0076] 一種用于激光在線測(cè)厚儀的檢驗(yàn)方法，其步驟為：[0077] (1)檢測(cè)數(shù)據(jù)采集：檢測(cè)數(shù)據(jù)包括量域兩端的標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊的厚度數(shù)據(jù)，量域的兩端分別被配置至少兩個(gè)厚度不同的標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊；

[0078] (2)檢測(cè)數(shù)據(jù)分析：計(jì)算檢測(cè)數(shù)據(jù)的擬合回歸方程，獲得常量和斜率并回歸方程式，通過回歸方程式計(jì)算得出標(biāo)準(zhǔn)差和R?sq；

[0079] (3)生成檢測(cè)結(jié)果：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差和R?sq得出線性分析結(jié)果、偏倚分析結(jié)果和穩(wěn)定性分析結(jié)果。

[0080] 根據(jù)步驟(2)，常量和斜率的計(jì)算公式為：[0081] 回歸線的斜率：[0082] 回歸線的截距：[0083] 其中，a為斜率，b為截距，xi為標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊厚度i的參考值， 為所有標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊厚度的平均參考值，yij為第i個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊的第j個(gè)測(cè)量厚度的偏倚，g為標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊

數(shù)，mi為第i個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊的仿行數(shù)， 為整個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊厚度偏倚均值。

[0084] 根據(jù)步驟(2)，標(biāo)準(zhǔn)差和R?sq的計(jì)算公式為：[0085] yi＝b+axi；[0086][0087][0088] 其中，yi為第i個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊擬合響應(yīng)。[0089] R?sq(R2)是測(cè)定系數(shù)，用于檢查擬合線能否很好地為數(shù)據(jù)建模，R平方(R2)標(biāo)示偏倚的變異部分，依據(jù)偏倚和參考值之間的線性關(guān)系進(jìn)行解釋。

[0090] 一種用于激光在線測(cè)厚儀的全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具的檢驗(yàn)方法，其步驟為：[0091] (1)系統(tǒng)按照設(shè)定次數(shù)自動(dòng)掃描被測(cè)極片，并將掃描厚度測(cè)量域分為若干個(gè)區(qū)，即為厚度分區(qū)；

[0092] (2)將掃描得到的厚度數(shù)據(jù)進(jìn)行交叉量具R&R分析研究；[0093] (3)自動(dòng)生成并保存檢驗(yàn)結(jié)果和評(píng)測(cè)報(bào)告。。[0094] 偏倚和線性的具體計(jì)算過程包括：[0095] (1)多次采集每個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊的厚度數(shù)據(jù)輸入；[0096] (2)計(jì)算輸入數(shù)據(jù)的擬合回歸方程；[0097] (3)獲得常量和斜率(回歸方程式)；[0098] (4)通過回歸方程式計(jì)算得出標(biāo)準(zhǔn)差和R?sq。[0099] 重復(fù)性和再現(xiàn)性的具體計(jì)算過程包括：[0100] (1)將被測(cè)量的極片厚度數(shù)據(jù)輸入；[0101] (2)獲得包含作用的雙因子方差分析表；[0102] (3)判斷P值是否小于設(shè)定值，如果交互作用P值小于設(shè)定值，則生成使用不包含交互作用的雙因子方差分析表；如果P值大于設(shè)定值，則生成使用包含交互作用的雙因子方差

分析表；

[0103] (4)通過對(duì)應(yīng)方差分析表計(jì)算量具GR&R方差分量和量具評(píng)估。[0104] 通過上述技術(shù)方案，讓激光在線測(cè)厚儀按照自動(dòng)設(shè)定自主依次測(cè)量安裝在標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組上的標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊，在本實(shí)施例中采用四塊標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊，包括標(biāo)準(zhǔn)厚度量

塊A、標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊B、標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊C和標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊D，采集激光測(cè)量的厚度數(shù)據(jù)和標(biāo)準(zhǔn)厚

度量塊的厚度數(shù)據(jù)自動(dòng)導(dǎo)入測(cè)量系統(tǒng)分析分析計(jì)算方程進(jìn)行計(jì)算，根據(jù)最終的計(jì)算結(jié)果判

定當(dāng)前激光在線測(cè)厚儀的當(dāng)前偏倚和線性指標(biāo)，且自動(dòng)導(dǎo)出和保存檢驗(yàn)報(bào)告。具體運(yùn)行程

序結(jié)構(gòu)參見圖12。

[0105] 激光在線測(cè)厚儀測(cè)量系統(tǒng)分析量具偏倚和線性檢驗(yàn)運(yùn)行具體步驟如下：[0106] (1)激光器采集標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊A的厚度數(shù)據(jù)輸入，采集次數(shù)可設(shè)定；[0107] (2)激光器采集標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊B的厚度數(shù)據(jù)輸入，采集次數(shù)可設(shè)定；[0108] (3)激光器采集標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊C的厚度數(shù)據(jù)輸入，采集次數(shù)可設(shè)定；[0109] (4)激光器采集標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊D的厚度數(shù)據(jù)輸入，采集次數(shù)可設(shè)定；[0110] (5)通過采集到的數(shù)據(jù)，進(jìn)行量具線性和偏倚分析；[0111] (6)自動(dòng)生成并保存評(píng)測(cè)報(bào)告；[0112] 激光在線測(cè)厚儀全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具偏倚和線性分析的具體計(jì)算過程如下，參見圖13：

[0113] Ⅰ、多次采集標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊A、B、C和D的厚度，厚度數(shù)據(jù)輸入；[0114] Ⅱ、計(jì)算輸入數(shù)據(jù)的擬合回歸方程；[0115] Ⅲ、獲得回歸方程式；[0116] 回歸線的斜率：[0117] 回歸線的截距：[0118] 其中，a為斜率，b為截距，xi為標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊厚度i的參考值， 為所有標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊厚度的平均參考值，yij為第i個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊的第j個(gè)測(cè)量厚度的偏倚，g為標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊

數(shù)，mi為第i個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊的仿行數(shù)(實(shí)驗(yàn)時(shí)的復(fù)制次數(shù)，在同一實(shí)驗(yàn)條件下的多次執(zhí)行

被視為單獨(dú)運(yùn)行，稱之為仿行，一般默認(rèn)為1)， 為整個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊厚度偏倚均值。

[0119] Ⅳ、通過回歸方程計(jì)算得出標(biāo)準(zhǔn)差(S)和R?sq，標(biāo)準(zhǔn)差(S)和R?sq是判定激光在線測(cè)厚儀線性和偏倚的重要參數(shù)。

[0120][0121][0122] 其中，yi為第i個(gè)標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊擬合響應(yīng)；[0123] 計(jì)算得到的R?sq值與公司內(nèi)部提供的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)值作比較，如果計(jì)算得到的R?sq小于公司內(nèi)部提供的標(biāo)準(zhǔn)值，則可以判定激光在線測(cè)厚儀量具不合格。

[0124] 激光在線測(cè)厚儀測(cè)量系統(tǒng)分析量具重復(fù)性和再現(xiàn)性檢驗(yàn)運(yùn)行程序，激光在線測(cè)厚儀按照設(shè)定，自動(dòng)測(cè)量安裝在測(cè)量域內(nèi)的靜止的被測(cè)材料樣片，重復(fù)采集設(shè)定組數(shù)的厚度

數(shù)據(jù)，并將這些數(shù)據(jù)按照測(cè)量系統(tǒng)分析量具分析方程進(jìn)行計(jì)算，計(jì)算所得結(jié)果判定激光在

線測(cè)厚儀當(dāng)前的重復(fù)性和再現(xiàn)性指標(biāo)，且自動(dòng)導(dǎo)出和保存檢驗(yàn)報(bào)告。

[0125] 在進(jìn)行測(cè)量系統(tǒng)分析量具重復(fù)性和再現(xiàn)性檢驗(yàn)程序中，本發(fā)明實(shí)施例中采用的方法為三三十，三三十的具體使用原則為，由三個(gè)人員對(duì)十個(gè)部件分別測(cè)量三次，在本發(fā)明的

實(shí)施例中是把被測(cè)極片分成十個(gè)分區(qū)，假定為十個(gè)部件，分別由激光在線在線測(cè)厚儀掃描

九次，把第一次掃描、第二次掃描和第三次掃描假定為A操作員，把第四次掃描、第五次掃描

和第六次掃描假定為B操作員，把第七次掃描、第八次掃描和第九次掃描假定為C操作員，即

相當(dāng)于三個(gè)操作員對(duì)十個(gè)部件進(jìn)行三次測(cè)量，掃描圖示參見圖11。

[0126] 在下面的具體計(jì)算中將要用到的概念：[0127] 厚度分區(qū)：即將被測(cè)極片的寬度分為幾個(gè)分區(qū)，在該實(shí)施例中，被測(cè)極片在寬度范圍內(nèi)被分為十個(gè)分區(qū)；

[0128] 厚度測(cè)量組：看為每個(gè)不同操作人員對(duì)部件的三次測(cè)量的數(shù)據(jù)組，在本實(shí)施例中可以理解為每三次掃描的十個(gè)分區(qū)的所有數(shù)據(jù)；

[0129] 厚度重復(fù)性：看為同一個(gè)操作員多次測(cè)量同一部件時(shí)產(chǎn)生的測(cè)量變異，在本實(shí)施例中可以理解為每三次掃描中相同分區(qū)值的變異性。

[0130] 厚度分區(qū)*厚度測(cè)量組：類似為部件*操作員，測(cè)量過程中由于操作員和部件的不同組合而產(chǎn)生的變異性，在本實(shí)施例中可以理解為每一次掃描和不同分區(qū)值的變異性。

[0131] 激光在線測(cè)厚儀測(cè)量系統(tǒng)分析量具重復(fù)性和再現(xiàn)性檢驗(yàn)運(yùn)行具體步驟如下，參見圖14：

[0132] (1)系統(tǒng)按照設(shè)定次數(shù)自動(dòng)掃描被測(cè)極片，并將掃描厚度測(cè)量域分為若干個(gè)區(qū)，即為厚度分區(qū)；

[0133] (2)將掃描得到的厚度數(shù)據(jù)進(jìn)行交叉量具R&R分析研究；[0134] (3)自動(dòng)生成并保存檢驗(yàn)結(jié)果和評(píng)測(cè)報(bào)告。[0135] 激光在線測(cè)厚儀全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具重復(fù)性和再現(xiàn)性分析具體計(jì)算過程如下，參見圖15：

[0136] I、將客戶產(chǎn)品的被測(cè)極片的測(cè)量厚度數(shù)據(jù)輸入；[0137] II、獲得包含作用的雙因子方差分析表；[0138] ①首先計(jì)算平方和(SS)：[0139][0140][0141][0142][0143] SS厚度重復(fù)性＝SS合計(jì)?SS厚度分區(qū)?SS厚度測(cè)量組[0144] SS厚度分區(qū)*厚度測(cè)量組＝SS合計(jì)?(SS厚度分區(qū)+SS厚度測(cè)量組+SS厚度重復(fù)性)[0145] 其中，h為厚度分區(qū)數(shù)，f為厚度測(cè)量組數(shù)，n為重復(fù)數(shù)， 為每一個(gè)厚度分區(qū)均值，為厚度總均值， 為每一個(gè)厚度測(cè)量組的均值，xijk為每一個(gè)厚度分區(qū)值， 為每一個(gè)因

子水平的均值；

[0146] ②其次計(jì)算自由度(DF)，計(jì)算某一個(gè)統(tǒng)計(jì)量時(shí)，取值不受限制的變量個(gè)數(shù)：[0147] DF厚度分區(qū)＝h?1[0148] DF厚度測(cè)量組＝f?1[0149] DF厚度重復(fù)性＝fh*(n?1)[0150] DF合計(jì)＝fhn?1[0151] DF厚度分區(qū)*厚度測(cè)量組＝(f?1)*(h?1)[0152] 其中，h為厚度分區(qū)數(shù)，f為厚度測(cè)量組數(shù)，n為仿行數(shù)；[0153] ③再其次計(jì)算均方(MS)：[0154][0155][0156][0157][0158] ④最后計(jì)算F統(tǒng)計(jì)量：[0159][0160][0161][0162] III、通過自由度(DF和F統(tǒng)計(jì)量求得一個(gè)概率值P，并判斷P值是否小于0.05(可以自由設(shè)定)，如果交互作用P值小于0.05，則需要生成并使用不包含交互作用的雙因子方差

分析表；如果交互作用P值大于0.05，則需要生成并使用包含交互作用的雙因子方差分析

表。

[0163] ①厚度分區(qū)*厚度測(cè)量組的交互作用包含在方差分析模型中，則方差分量通過以下公式計(jì)算得出：

[0164] 厚度重復(fù)性＝MS厚度重復(fù)性[0165][0166][0167][0168] 厚度再現(xiàn)性＝厚度測(cè)量組+厚度分區(qū)*厚度測(cè)量組[0169] 合計(jì)量具GR&R＝厚度重復(fù)性+厚度再現(xiàn)性[0170] ②厚度分區(qū)*厚度測(cè)量組的交互作用不包含在方差分析模型中，則方差分量通過以下公式計(jì)算得出：

[0171] 厚度重復(fù)性＝MS厚度重復(fù)性[0172][0173][0174] 厚度再現(xiàn)性＝厚度測(cè)量組[0175] 合計(jì)量具GR&R＝厚度重復(fù)性＋厚度再現(xiàn)性[0176] 總變異＝合計(jì)量具GR&R＋厚度分區(qū)[0177] 其中，h為厚度分區(qū)數(shù)，f為厚度測(cè)量組數(shù)，n為仿行數(shù)；[0178] I、通過對(duì)應(yīng)方差分析表計(jì)算量具GR&R方差分量和量具評(píng)估。[0179] 盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換

和變型，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。