工作原理

Smartzoom 5采用電動變倍物鏡（0.5×-2000×連續(xù)變焦）與高分辨率CMOS傳感器（像素尺寸2.2μm）協(xié)同工作：檢測時，用戶通過10.1英寸觸摸屏選擇觀察模式（明場、暗場、偏光、微分干涉），設(shè)備自動調(diào)整LED環(huán)形光源（亮度0-100%可調(diào)，波長365-780nm可選）與物鏡位置（Z軸行程50mm，分辨率0.1μm）；樣品固定于電動載物臺（X/Y軸行程100mm×100mm，定位精度±1μm），支持5軸聯(lián)動控制（X/Y/Z/旋轉(zhuǎn)/傾斜）；圖像數(shù)據(jù)經(jīng)千兆以太網(wǎng)傳輸至嵌入式處理器（Intel Core i7-11800H，內(nèi)存16GB），結(jié)合AI圖像增強(qiáng)算法（基于深度學(xué)習(xí)的降噪、對比度優(yōu)化與超分辨率重建）實(shí)時生成高動態(tài)范圍圖像（分辨率最高5184×3456像素）；三維形貌分析模塊通過多角度圖像拼接（支持9×9網(wǎng)格拼接）與立體視覺算法，可重建樣品表面三維模型（垂直分辨率0.1μm，水平分辨率1μm），并輸出粗糙度（Ra/Rz）、輪廓度、孔隙率等參數(shù)。

應(yīng)用范圍

覆蓋多行業(yè)微觀檢測場景：半導(dǎo)體（晶圓表面劃痕、芯片鍵合層空洞、封裝體裂紋）、電子制造（PCB板焊點(diǎn)虛焊、BGA引腳氧化、顯示屏像素缺陷）、材料科學(xué)（金屬疲勞裂紋、復(fù)合材料界面脫粘、陶瓷表面粗糙度）、生命科學(xué)（細(xì)胞形態(tài)觀察、組織切片三維重建）及精密機(jī)械（齒輪嚙合面磨損、刀具刃口崩刃、3D打印金屬件表面質(zhì)量）等，尤其適合檢測微米級缺陷（如0.5μm級裂紋、1μm級顆粒）、復(fù)雜表面形貌（如紋理、凹凸、孔洞）或透明/半透明材料（如玻璃、塑料、膠體）；支持與自動化產(chǎn)線集成，通過IO接口與PLC聯(lián)動，實(shí)現(xiàn)“上料-檢測-分類-下料”全流程自動化，適配節(jié)拍≤30秒/件的在線檢測需求。

技術(shù)參數(shù)

物鏡：電動變倍0.5×-2000×，數(shù)值孔徑0.01-0.95；傳感器：1/1.2英寸CMOS，像素尺寸2.2μm，分辨率5184×3456；光源：LED環(huán)形光源（亮度0-100%可調(diào)，波長365-780nm可選），同軸照明與斜射照明可選；載物臺：電動X/Y/Z/旋轉(zhuǎn)/傾斜，X/Y軸行程100mm×100mm，定位精度±1μm，旋轉(zhuǎn)范圍0-360°，傾斜范圍±45°；圖像處理：AI圖像增強(qiáng)（降噪、對比度優(yōu)化、超分辨率重建），支持9×9網(wǎng)格拼接；三維重建：垂直分辨率0.1μm，水平分辨率1μm，粗糙度測量范圍Ra 0.01-10μm；接口：千兆以太網(wǎng)、USB 3.0、HDMI、IO控制；工作溫度：5℃-40℃；工作濕度：20%-80%RH；電源：AC100-240V 50/60Hz；重量：35kg；尺寸：450mm×400mm×600mm。

產(chǎn)品特點(diǎn)

全系列通過ISO 9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證，AI圖像增強(qiáng)算法使圖像信噪比提升40%，檢測效率提高5倍；5軸電動控制支持一鍵式自動對焦、自動拼接與自動測量，操作門檻降低70%；模塊化設(shè)計支持物鏡、光源、載物臺快速更換，適配不同檢測需求；配備自研顯微檢測軟件（支持Windows/Linux雙系統(tǒng)），集成圖像采集、分析、報告生成全流程功能，兼容第三方軟件（如ImageJ、MATLAB）；10.1英寸觸摸屏支持手勢縮放、旋轉(zhuǎn)、標(biāo)注，操作體驗(yàn)媲美智能手機(jī)。Smartzoom 5以“亞微米級分辨率、一鍵式智能操作”的特性，成為微觀檢測領(lǐng)域的標(biāo)桿設(shè)備。