D300 經(jīng)濟(jì)型高精度臺(tái)階儀 3277     

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Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測(cè)量。光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。 探針測(cè)量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測(cè)量，與材料特性無關(guān)?？烧{(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行測(cè)量。通過測(cè)量粗糙度和應(yīng)力，可以對(duì)工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的多種變化。

ezAFM-便攜式原子力顯微鏡 3240     

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ezAFM是新設(shè)計(jì)的精致型原子力顯微鏡，具有設(shè)計(jì)緊湊、美觀大方、高穩(wěn)定性、占用空間小等特點(diǎn)，而且軟件功能強(qiáng)大、操作簡單、用戶界面良好，而且價(jià)格實(shí)惠，性價(jià)比較為高。它是理想的實(shí)驗(yàn)室用原子力顯微鏡，廣泛應(yīng)用于高等教育、納米技術(shù)教育和基礎(chǔ)研究等領(lǐng)域。產(chǎn)品系列包括：ezAFM、ezAFM+、ezAFM AQUA、以及ezAFM-Vacuum，ezSTM除了基本的形貌等掃描，可以用于電學(xué)、磁學(xué)等拓展模式，以及液相、真空環(huán)境等。

MVI原子力顯微鏡與可見-紅外-拉曼聯(lián)用系統(tǒng) 3274     

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原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope, AFM)經(jīng)過30多年的發(fā)展后，從形貌測(cè)試及其它常規(guī)功能來看已經(jīng)非常成熟。然而常規(guī)的原子力顯微鏡也越來越無法滿足科研人員在納米尺度下對(duì)于樣品進(jìn)行多性質(zhì)原位測(cè)試分析的需求，尤其在化學(xué)、光學(xué)、電學(xué)、熱學(xué)、力學(xué)等領(lǐng)域。 在具備常規(guī)原子力顯微鏡功能的條件下，基于光誘導(dǎo)力顯微鏡（Photo-induced Force Microscope, PiFM)技術(shù)，結(jié)合波長可調(diào)的可見-紅外光源，從而實(shí)現(xiàn)10nm以下空間分辨可見-紅外成像與光譜采集，無需遠(yuǎn)場(chǎng)光學(xué)接收器及光譜儀。 此外，VistaScope原子力顯微鏡還可以與各類拉曼光譜儀

VITA　反應(yīng)離子刻蝕機(jī)（垂直腔室） 1896     

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反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)，垂直腔室

SPRm200 表面等離子共振顯微鏡 2142     

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SPRm200 表面等離子共振顯微鏡 工作原理基于表面等離子共振（SPR）技術(shù)。是將表面等離子體共振技術(shù)和光學(xué)顯微鏡巧妙結(jié)合為一體的生物傳感檢測(cè)儀?？梢酝瑫r(shí)得到細(xì)胞原位明場(chǎng)成像、SPR成像、及SPR動(dòng)力學(xué)曲線定量親和常數(shù)、結(jié)合解離常數(shù)，它為免標(biāo)記研究分子相互作用的領(lǐng)域開辟一個(gè)嶄新的前沿。專門針對(duì)細(xì)胞膜蛋白和相關(guān)分子免標(biāo)記檢測(cè)而設(shè)計(jì)的SPRm200， 使您在不需要從細(xì)胞中提取和分離膜蛋白的前提下實(shí)時(shí)觀察細(xì)胞結(jié)構(gòu)并同時(shí)測(cè)量藥物和靶點(diǎn)在細(xì)胞上的結(jié)合過程。還可進(jìn)行對(duì)藥物和在天然狀態(tài)下的膜蛋白之間相互作用的測(cè)量，高分辨SPR成像，可

原位納米壓痕儀 2220     

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NanoFlip產(chǎn)品既可以工作在真空環(huán)境下進(jìn)行各種原位力學(xué)測(cè)試；也可以直接在大氣環(huán)境下測(cè)試樣品的硬度、楊氏模量或者其它物理力學(xué)性能。 NanoFlip在硬度和楊氏模量測(cè)試、連續(xù)剛度測(cè)試（CSM）、力學(xué)性能譜圖（Mapping）、納米動(dòng)態(tài)力學(xué)分析（DMA）、劃痕和磨損測(cè)試、柱壓縮等測(cè)試中表現(xiàn)出色，可同時(shí)將SEM圖像與力學(xué)測(cè)試數(shù)據(jù)同步。NanoFlip還可以進(jìn)行快速壓痕測(cè)量，這是在惰性環(huán)境（如手套箱）中研究非均相材料的重要手段。

Candela CS920表面缺陷檢測(cè)儀 1911     

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KLA Candela光學(xué)表面缺陷分析儀（OSA）可對(duì)半導(dǎo)體及光電子材料進(jìn)行先進(jìn)的表面檢測(cè)。Candela系列既能夠檢測(cè)Si、砷化鎵、磷化銦等不透明基板，又能對(duì)SiC、GaN、藍(lán)寶石和玻璃等透明材料進(jìn)行檢測(cè)，成為其制程中品質(zhì)管理及良率改善的有力工具。 Candela系列采用光學(xué)表面分析（OSA）專用技術(shù)，可同時(shí)測(cè)量散射強(qiáng)度、形狀變化、表面反射率和相位轉(zhuǎn)移，為特征缺陷（DOI）進(jìn)行自動(dòng)偵測(cè)與分類。OSA檢測(cè)技術(shù)結(jié)合散射測(cè)量、橢圓偏光、反射測(cè)量與光學(xué)形狀分析等基本原理，以非破環(huán)性方式對(duì)Wafer表面的殘留異物，表面與表面下缺陷，形狀變化和薄膜厚度

電阻率測(cè)試儀 1773     

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Filmetrics的薄膜電阻測(cè)量設(shè)備開發(fā)源自于有著超過30年經(jīng)驗(yàn)的KLA的薄膜電阻計(jì)量技術(shù)，并由20年臺(tái)式測(cè)量設(shè)備開發(fā)經(jīng)驗(yàn)的Filmetrics團(tuán)隊(duì)完善了桌面式方塊電阻測(cè)量產(chǎn)品。KLA薄膜電阻測(cè)量技術(shù)包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。 Filmetrics的R50系列方塊電阻測(cè)量儀器可測(cè)量沉積在多種基材上的導(dǎo)電片和薄膜，跨越10個(gè)數(shù)量級(jí)范圍電阻率，包括：半導(dǎo)體晶圓基板、玻璃基板、塑料（柔性）基材、PCB圖案特征、太陽能電池、平板顯示層和圖案化特征、金屬箔

Desk V 薄膜沉積解決方案 1831     

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Desk V樣品制備系統(tǒng)配制用于蒸發(fā)和濺射，是一種高生產(chǎn)率的解決方案，可提供卓越、一致和高度可重復(fù)的結(jié)果。 Desk V鍍膜系統(tǒng)提供兩種版本：Desk V HP和Desk V TSC。Desk V TSC，是渦輪分子泵濺射鍍膜機(jī)選項(xiàng)，專為高分辨率顯微鏡樣品設(shè)計(jì)，適用于氧化和非氧化金屬。Desk V磁控濺射裝置精確沉積導(dǎo)電鍍膜，其熱蒸發(fā)選項(xiàng)可以沉積薄碳層(使用棒材或紗線)。

D300 經(jīng)濟(jì)型高精度臺(tái)階儀 1812     

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Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測(cè)量。光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。 探針測(cè)量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測(cè)量，與材料特性無關(guān)。可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行測(cè)量。通過測(cè)量粗糙度和應(yīng)力，可以對(duì)工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的多種變化。

ezAFM-便攜式原子力顯微鏡 1818     

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ezAFM是新設(shè)計(jì)的精致型原子力顯微鏡，具有設(shè)計(jì)緊湊、美觀大方、高穩(wěn)定性、占用空間小等特點(diǎn)，而且軟件功能強(qiáng)大、操作簡單、用戶界面良好，而且價(jià)格實(shí)惠，性價(jià)比較為高。它是理想的實(shí)驗(yàn)室用原子力顯微鏡，廣泛應(yīng)用于高等教育、納米技術(shù)教育和基礎(chǔ)研究等領(lǐng)域。產(chǎn)品系列包括：ezAFM、ezAFM+、ezAFM AQUA、以及ezAFM-Vacuum，ezSTM除了基本的形貌等掃描，可以用于電學(xué)、磁學(xué)等拓展模式，以及液相、真空環(huán)境等。

MVI原子力顯微鏡與可見-紅外-拉曼聯(lián)用系統(tǒng) 2229     

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在具備常規(guī)原子力顯微鏡功能的條件下，基于光誘導(dǎo)力顯微鏡（Photo-induced Force Microscope, PiFM)技術(shù)，結(jié)合波長可調(diào)的可見-紅外光源，從而實(shí)現(xiàn)10nm以下空間分辨可見-紅外成像與光譜采集，無需遠(yuǎn)場(chǎng)光學(xué)接收器及光譜儀。VistaScope原子力顯微鏡還可以與各類拉曼光譜儀進(jìn)行聯(lián)用，組成原子力顯微鏡與可見-紅外-拉曼聯(lián)用系統(tǒng)，以滿足科研人員在納米尺度下的測(cè)試需求。

P7 晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀 1802     

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KLA是全球半導(dǎo)體在線檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)較大的供應(yīng)商，在半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、 MEMS 、太陽能、光電子以及其他領(lǐng)域中有著不俗的市占率。 P-7是KLA公司的第八代探針式臺(tái)階儀系統(tǒng)，歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新，集合眾多技術(shù)優(yōu)勢(shì)。 P-7建立在市場(chǎng)領(lǐng)先的P-17臺(tái)式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。 它保持了P-17技術(shù)的測(cè)量性能，并作為臺(tái)式探針輪廓儀平臺(tái)提供了好的性價(jià)比。 P-7可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現(xiàn)來看， P-7具有較好的測(cè)量重復(fù)性。UltraLite?傳感器具有動(dòng)態(tài)力控制，