本發(fā)明涉及混酸回收處理，特別是一種刻蝕廢液混酸處理方法。

背景技術(shù)：

玻璃刻蝕廢液、硅片刻蝕廢液包括氫氟酸、硝酸、硫酸、氟硅酸的水溶液，刻蝕過程會(huì)產(chǎn)生大量的刻蝕廢液，其呈酸性。

目前對(duì)于刻蝕廢液，主要利用堿如氫氧化鈣或者碳酸鈣等進(jìn)行中和處理，但是這種方法不僅浪費(fèi)廢液中的酸資源，而且會(huì)產(chǎn)生大量的廢水，進(jìn)一步造成環(huán)境負(fù)擔(dān)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種刻蝕廢液混酸處理方法，可以以金屬鹽的形勢(shì)回收廢液中有價(jià)值的氫氟酸、硝酸、硫酸以及氟硅酸。

本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：一種刻蝕廢液混酸處理方法，刻蝕廢液混酸包含：氟離子、硫酸根離子、氟硅酸根離子以及硝酸根離子，方法包括第一方案以及第二方案，第一方案包括：將刻蝕廢液混酸與石灰反應(yīng)使氟離子、硫酸根離子以及氟硅酸根離子制得鈣鹽，硝酸根離子與鈉鹽反應(yīng)制得硝酸鈉并結(jié)晶脫除；第二方案包括：將刻蝕廢液混酸與石灰反應(yīng)使氟離子、硫酸根離子、氟硅酸根離子以及硝酸根離子均制得鈣鹽。

進(jìn)一步地，第一方案包括：s1、將刻蝕廢液混酸與石灰反應(yīng)制得caf2、casif6以及caso4三個(gè)沉淀物，還有第一廢液，將第一廢液的ph控制為7-10；

s2、將化學(xué)試劑a與第一廢液反應(yīng)制得第二廢液，進(jìn)行固液分離得到第一沉淀和第一濾液，化學(xué)試劑a的加入量為上一步石灰重量的50%；

s3、將第一濾液與化學(xué)試劑b反應(yīng)然后進(jìn)行固液分離得到第二沉淀和第二濾液，化學(xué)試劑b的加入量為上一步化學(xué)試劑a重量的50%-100%；

s4、使用硝酸調(diào)節(jié)第二濾液的ph值至6-8，然后進(jìn)行提濃，再加入鈉鹽并進(jìn)行蒸發(fā)結(jié)晶得到含水率25%的硝酸鈉固體，最終干燥制得含水率低于5%硝酸鈉。

進(jìn)一步地，第二方案包括：

s1、將刻蝕廢液混酸與石灰反應(yīng)制得caf2、casif6以及caso4三個(gè)沉淀物，還有第三廢液，將第三廢液的ph控制為7-10；

s2、將第三廢液進(jìn)行固液分離得到第三沉淀和第三濾液；

s3、并將第三濾液與惰性劑反應(yīng)，然后加入硝酸調(diào)節(jié)ph值至6-8，然后進(jìn)行蒸發(fā)結(jié)晶得到含水率25%的鈣鹽固體，最終干燥制得含水率低于5%鈣鹽固體。

進(jìn)一步地，化學(xué)試劑a中化學(xué)組分配比為：ca:f:si:so4=1:2:3:4。

進(jìn)一步地，化學(xué)試劑b中化學(xué)組分配比為：ca:f:si:so4=1:2:2:1。

進(jìn)一步地，惰性劑的化學(xué)組分配比為：ca:f:si:so4:cl=1:2:3:4:1。

進(jìn)一步地，硝酸質(zhì)量分?jǐn)?shù)為65%。

進(jìn)一步地，刻蝕廢液混酸包括，玻璃刻蝕廢液、硅片刻蝕廢液中的一種或者兩種。

本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：

可以以金屬鹽的形勢(shì)回收廢液中有價(jià)值的氫氟酸、硝酸、硫酸以及氟硅酸，較少廢液中酸性物質(zhì)對(duì)環(huán)境的污染。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的刻蝕廢液混酸處理方法第一方案流程示意圖；

圖2為本發(fā)明的刻蝕廢液混酸處理方法第二方案流程示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的描述，但本發(fā)明的保護(hù)范圍不局限于以下所述。

如圖1-圖2所示，一種刻蝕廢液混酸處理方法，刻蝕廢液混酸包含：氟離子、硫酸根離子、氟硅酸根離子以及硝酸根離子，刻蝕廢液混酸處理方法包括第一方案以及第二方案，第一方案包括：將刻蝕廢液混酸與石灰反應(yīng)使氟離子、硫酸根離子以及氟硅酸根離子制得鈣鹽，硝酸根離子與鈉鹽反應(yīng)制得硝酸鈉并結(jié)晶脫除；第二方案包括：將刻蝕廢液混酸與石灰反應(yīng)使氟離子、硫酸根離子、氟硅酸根離子以及硝酸根離子均制得鈣鹽。

第一方案具體步驟：將濃混酸廢水收集槽的廢酸經(jīng)泵輸送至濃混酸廢水反應(yīng)池中，與來自石灰溶解槽的石灰漿液反應(yīng)，分別生成h2o、caf2（沉淀）、casif6（沉淀）以及caso4（沉淀），反應(yīng)后的第一廢液ph控制至7-10；

待第一步反應(yīng)完成后，再向反應(yīng)池中投加化學(xué)試劑a進(jìn)一步反應(yīng)得到第二廢液，化學(xué)試劑a的加入量為上一步石灰漿的50%，化學(xué)試劑a中化學(xué)組分配比為：ca:f:si:so4=1:2:3:4，；

上述第二廢液經(jīng)泵輸送至濃混酸廢水收集池，使得沉淀物在池內(nèi)充分沉淀；

再將此第二廢液經(jīng)泵輸送至板框壓濾機(jī)中固液分離，得到的固體進(jìn)行固廢處理；而得到的第一濾液送至脫雜反應(yīng)釜中與化學(xué)試劑b反應(yīng)，化學(xué)試劑b的加入量為化學(xué)試劑a重量的0.5-1倍，化學(xué)試劑b組成配比：ca:f:si:so4=1:2:2:1，反應(yīng)后的溶液再泵至板框壓濾固液分離后，得到的固體同樣作為固廢處置，還得到第二廢液；

上述得到第二濾液經(jīng)砂濾脫除懸浮物后泵至ph調(diào)節(jié)罐，用硝酸調(diào)節(jié)ph值至6-8；本實(shí)施例中，硝酸質(zhì)量分?jǐn)?shù)為65%。

從ph調(diào)節(jié)罐出來的溶液經(jīng)濾液中間池暫存后，泵至mvr裝置提濃。

提濃后的硝酸鈉溶液再經(jīng)泵輸送至單效蒸發(fā)裝置中蒸發(fā)結(jié)晶，獲得含水率約25%的硝酸鈉固體，此固體再送至干燥設(shè)備中干燥，得到含水率低于5%硝酸鈉產(chǎn)品。

第二方案步驟具體為：將濃混酸廢水收集槽的廢酸經(jīng)泵輸送至濃混酸廢水反應(yīng)池中，與來自石灰溶解槽的石灰漿液反應(yīng)，分別生成h2o、caf2（沉淀）、casif6（沉淀）以及caso4（沉淀），反應(yīng)后的第三濾液ph控制至7-10；

上述廢液經(jīng)泵輸送至濃混酸廢水收集池，使得沉淀物在池內(nèi)充分沉淀；

再將此廢液經(jīng)泵輸送至板框壓濾機(jī)中固液分離，其中固體（主要成分為caf2、casif6、caso4）與蒸發(fā)產(chǎn)物混合后作為固廢委外處置；而濾液送至溶解槽與惰性劑充分混合后，經(jīng)砂濾脫除懸浮物后繼續(xù)泵至ph調(diào)節(jié)罐，再用硝酸調(diào)節(jié)ph值至6-8，惰性劑的化學(xué)組分配比為：ca:f:si:so4:cl=1:2:3:4:1；

從ph調(diào)節(jié)罐出來的溶液經(jīng)濾液中間池暫存后，泵至蒸發(fā)結(jié)晶裝置中蒸發(fā)結(jié)晶，獲得含水率約25%的鈣鹽固體，此固體再與上游產(chǎn)生的濾餅混合后送至干燥設(shè)備中干燥，得到含水率低于5%的產(chǎn)物，此產(chǎn)物可作為固廢填埋處置。

本實(shí)施例中，刻蝕廢液混酸包括，玻璃刻蝕廢液、硅片刻蝕廢液中的一種或者兩種。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)

本發(fā)明公開了一種刻蝕廢液混酸處理方法，本發(fā)明涉及混酸回收處理，刻蝕廢液混酸包含：氟離子、硫酸根離子、氟硅酸根離子以及硝酸根離子，方法包括第一方案以及第二方案，第一方案包括：將刻蝕廢液混酸與石灰反應(yīng)使氟離子、硫酸根離子以及氟硅酸根離子制得鈣鹽，硝酸根離子與鈉鹽反應(yīng)制得硝酸鈉并結(jié)晶脫除；第二方案包括：將刻蝕廢液混酸與石灰反應(yīng)使氟離子、硫酸根離子、氟硅酸根離子以及硝酸根離子均制得鈣鹽。可以以金屬鹽的形勢(shì)回收廢液中有價(jià)值的氫氟酸、硝酸、硫酸以及氟硅酸。

技術(shù)研發(fā)人員：蒲江

受保護(hù)的技術(shù)使用者：四川高綠平環(huán)境科技有限公司

技術(shù)研發(fā)日：2019.06.12

技術(shù)公布日：2019.08.16