本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體激光器
芯片生產(chǎn)加工領(lǐng)域,具體公開了一種測(cè)試夾具,包括載臺(tái)、蓋板、擋板、滑軌、壓塊和絕緣軟墊,待測(cè)試芯片置于蓋板上,一側(cè)與擋板接觸,實(shí)現(xiàn)限位,蓋板和擋板與載臺(tái)固定連接;待測(cè)試芯片的上方設(shè)有壓塊,壓塊置于滑軌內(nèi)并可上下活動(dòng),壓塊的下端設(shè)有絕緣軟墊,絕緣軟墊在與待測(cè)試芯片上電極接觸的部位設(shè)有第一導(dǎo)電膜,蓋板與待測(cè)試芯片的下電極接觸的部位設(shè)有第二導(dǎo)電膜,第一導(dǎo)電膜和第二導(dǎo)電膜分別通過(guò)導(dǎo)線與測(cè)試儀連接。本實(shí)用新型還包括壓緊機(jī)構(gòu),通過(guò)螺栓調(diào)節(jié)壓力,第一導(dǎo)電膜與絕緣軟墊之間設(shè)有壓力傳感器,通過(guò)壓力傳感器的讀值調(diào)節(jié)測(cè)試壓力。本裝置不需頻繁更換測(cè)試探針,提高測(cè)試效率,對(duì)測(cè)試芯片電極無(wú)損傷。
聲明:
“測(cè)試夾具” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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