一種大量程高精度微接觸力位移測量裝置及其控制方法,涉及一種高精度位移檢測裝置及控制方法。音圈電機(jī)的動(dòng)子與氣浮導(dǎo)軌移動(dòng)部件一端連接,音圈電機(jī)的定子與氣浮導(dǎo)軌基座連接,氣浮導(dǎo)軌基座右上端設(shè)有中空腔,氣浮導(dǎo)軌移動(dòng)部件滑動(dòng)設(shè)置在氣浮導(dǎo)軌基座的中空腔內(nèi),光柵尺與氣浮導(dǎo)軌移動(dòng)部件連接,讀數(shù)頭與氣浮導(dǎo)軌基座連接;壓電陶瓷執(zhí)行器首端與氣浮導(dǎo)軌移動(dòng)部件另一端連接,壓電陶瓷執(zhí)行器末端與微力傳感探針連接,輔助監(jiān)控顯微鏡與壓電陶瓷執(zhí)行器的固定基座連接。本發(fā)明用于大量程高精度微接觸力位移測量,可對(duì)毫米尺度精密零件及裝配體的尺寸及形狀精度等幾何量進(jìn)行納米精度的無損測量。
聲明:
“大量程高精度微接觸力位移測量裝置及其控制方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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