本發(fā)明公布了一種基于有序
碳納米管薄膜的液體表面張力傳感器及其制備方法,屬于
納米材料和應(yīng)用的領(lǐng)域。特征是利用傳感器浸沒(méi)在液體中,毛細(xì)力作用使碳納米管薄膜微結(jié)構(gòu)改變,引起其直流響應(yīng)變化,實(shí)現(xiàn)液體表面張力的測(cè)量。傳感器制備工藝簡(jiǎn)單,可控性良好。器件響應(yīng)快,靈敏度高。器件構(gòu)建主要包括:⑴利用微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備碳納米管陣列;⑵利用物理氣相沉積技術(shù)和掩膜覆蓋技術(shù),在有機(jī)絕緣襯底表面制備金屬電極;⑶利用滾壓轉(zhuǎn)移技術(shù),將碳納米管陣列轉(zhuǎn)移至已鍍電極的襯底表面,構(gòu)建液體表面張力傳感器。本發(fā)明是利用有序碳納米管薄膜結(jié)構(gòu)改變引起其電學(xué)信號(hào)變化構(gòu)建的液體表面張力傳感器,拓展了一維納米材料的應(yīng)用領(lǐng)域。
聲明:
“基于有序碳納米管薄膜的液體表面張力傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)