提供了用于實現(xiàn)處理狀態(tài)和基板表面組分的紅外線檢測的化學(xué)機(jī)械平面化系統(tǒng)和方法。在一個例子中,化學(xué)機(jī)械平面化系統(tǒng)包括用于保持和旋轉(zhuǎn)一個基板的基板夾盤,安裝在制備載體上的制備頭,和安裝在修整載體上的修整頭。制備頭被配置為壓靠該基板,與基板整個表面區(qū)域上的至少一部分重疊,該部分小于基板的整個表面區(qū)域。該系統(tǒng)進(jìn)一步包括紅外線傳感器,設(shè)置在基板上方以感測來自基板表面的紅外線發(fā)射。紅外線傳感器的幾個例子包括單點、掃描、和陣列紅外線傳感器。在另一個例子中,提供了使用紅外線感測來確定基板的處理狀態(tài)和表面組分的方法。在化學(xué)機(jī)械平面化期間,紅外線傳感器被設(shè)置為感測來自基板表面的紅外線發(fā)射,并分析該紅外線發(fā)射以確定處理狀態(tài)并產(chǎn)生基板的形態(tài)細(xì)節(jié)。
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“紅外線終點檢測系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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