本實用新型公開了一種流體化學(xué)品智能供應(yīng)系統(tǒng)，具體涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。該系統(tǒng)主要包括主箱柜、電控箱、上門、下門、原液鋼瓶、供液鋼瓶、操控屏、控制管路、監(jiān)測傳感器。原液鋼瓶是用于供給設(shè)備流體化學(xué)品；供液鋼瓶是為設(shè)備系統(tǒng)供應(yīng)原液到管道輸出單元；操控屏是設(shè)置運行參數(shù)和系統(tǒng)的人機交互界面；控制管路用于液體化學(xué)品的供應(yīng)控制；監(jiān)測傳感器用于管路系統(tǒng)運行過程中的監(jiān)測。本實用新型推進了半導(dǎo)體加工設(shè)備的升級，優(yōu)化晶圓制造環(huán)節(jié)的方案，主要針對是晶圓制造過程中化學(xué)氣相沉積環(huán)節(jié)，通過流體化學(xué)品智能供應(yīng)系統(tǒng)可以安全及集中供應(yīng)液體化學(xué)品到芯片加工設(shè)備，為促進我國芯片制造升級邁進一步。