本發(fā)明涉及一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備及其控制方法和控制裝置,所述控制方法包括:調(diào)節(jié)所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備的內(nèi)部壓強(qiáng)至外界大氣壓強(qiáng);檢測是否發(fā)出放料信號;根據(jù)檢測到的放料信號打開所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備的大氣端隔離門;通過所述大氣端隔離門進(jìn)行放料操作。本發(fā)明的控制方法,在打開所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備的大氣端隔離門前會檢測是否發(fā)出放料信號,當(dāng)檢測到放料信號后,打開所述大氣端隔離門,可以避免在無法進(jìn)行放料操作時(shí),由于長時(shí)間打開所述大氣端隔離門,而使得所述玻璃基板發(fā)生電性缺陷超規(guī)異常的現(xiàn)象。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積設(shè)備及其控制方法和控制裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)