本發(fā)明公開(kāi)了一種高效穩(wěn)定的臭氧催化氧化反應(yīng)裝置及其污水處理方法，屬于廢水處理技術(shù)領(lǐng)域，本裝置包括臭氧發(fā)生器、反應(yīng)器、循環(huán)水泵和尾氣破壞器，反應(yīng)器的內(nèi)部自上而下依次設(shè)有固定床催化劑層、第一曝氣盤(pán)、第一布水裝置、流化床催化劑層、第二曝氣盤(pán)和第二布水裝置，其頂部通過(guò)尾氣排放管與尾氣破壞器連接，其上部設(shè)有排水管和循環(huán)水管；第二布水裝置與進(jìn)水管連接；循環(huán)水管還連接于進(jìn)水管，其上設(shè)有循環(huán)水泵；臭氧發(fā)生器通過(guò)第一臭氧排氣管與第一曝氣盤(pán)連接、第二臭氧排氣管與第二曝氣盤(pán)連接。本裝置通過(guò)合理的結(jié)構(gòu)布局，兼有流化床傳質(zhì)效果好，處理效率高，固定床出水性能好，催化劑不易流失等特點(diǎn)，還具有臭氧多點(diǎn)投加和適應(yīng)性好等優(yōu)點(diǎn)。