本發(fā)明提供了一種利用惰性氣體產(chǎn)生大直徑均勻等離子體羽的裝置及方法。該裝置利用針電極、介質(zhì)管及平板電極組成噴槍結(jié)構(gòu),通過在針電極上施加高壓交流電壓,在介質(zhì)管敞口端的開放環(huán)境產(chǎn)生非均勻絲狀等離子體羽,之后逐漸增加在平板電極上施加的高壓正直流電壓,使得非均勻絲狀等離子體羽轉(zhuǎn)變?yōu)榫鶆虻入x子體羽。在本發(fā)明實(shí)施例中所產(chǎn)生的均勻等離子體羽最大直徑為20mm,大于現(xiàn)有大多數(shù)在惰性氣體中產(chǎn)生的大氣壓等離子體羽的直徑,且不需要添加其他氣體,提高了處理速率和效率,適宜大規(guī)模工業(yè)應(yīng)用,在表面處理、廢水凈化、殺菌消毒、元素探測(cè)、飛行器減阻、航空器隱身等領(lǐng)域具有深遠(yuǎn)的意義。
聲明:
“利用惰性氣體產(chǎn)生大直徑均勻等離子體羽的裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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