設(shè)備介紹

KJ-T1200-S50-3Z迷你型CVD管式爐，是一款通過CE認證的可開啟式管式爐，能使樣品加熱到1200℃。配有三路質(zhì)量流量計混氣氣路，配有真空泵真空可達10pa，準確的PID程序多段程序控溫，本系列高溫CVD設(shè)備適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等試驗。

產(chǎn)品優(yōu)勢

PID多段程序控溫

控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié)，可以設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度可以達到±1℃

高純石英爐管

爐管采用高純石英材質(zhì)，耐高溫耐酸堿腐蝕，透明材質(zhì)方便觀察樣品反應情況

加熱效率高

加熱元件采用含鉬合金加熱絲，加熱速率快，耐高溫、抗氧化耐腐蝕

技術(shù)參數(shù)

型號 KJ-T1200-S50-3Z

爐管直徑 Φ50mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

加熱區(qū) 200mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

溫度溫度 最高1200℃，工作溫度≤1100℃

加熱速率 建議≤10℃/min

控溫精度 ±1℃

加熱元件 含鉬電阻絲

控制方式 PID智能化多段程序控溫

爐管材質(zhì) 石英管

氣路系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計：手動智能控制，數(shù)字顯示，;

1.MFC 1-MFC3：0-500sccm可調(diào)

2.3個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制3種氣體;

3.進出氣口：3進1出

真空系統(tǒng) 真空泵，抽速2.2L/S，真空度可達10pa，真空度數(shù)顯示在數(shù)顯真空計上

注意事項

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全

· 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)

· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時間使用溫度<1100℃

對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生(如爐管破裂，法蘭飛出等)

質(zhì)保 質(zhì)保一年，終身保修(耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍)