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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
新能源	鋰鋰礦鋰化合物金屬鋰鎳鎳礦鎳鐵精煉鎳鎳鹽高冰鎳 MHP 鈷電解鈷鈷粉氯化鈷四氧化三鈷硫酸鈷鈷中間品氧化鈷碳酸鈷鈷酸鋰錳錳礦電解錳電池級(jí)硫酸錳鋰電正負(fù)極三元前驅(qū)體磷酸鐵正極材料石油焦針狀焦包覆瀝青人造石墨硅碳負(fù)極硅氧負(fù)極電解液隔膜隔膜電解液電芯

基礎(chǔ)金屬

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稀貴金屬

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混氣PECVD設(shè)備

205

規(guī)格/型號(hào)：KJ-T1200 PECVD

品牌：鴻爐機(jī)械

應(yīng)用領(lǐng)域：材料制備

產(chǎn)地：河南 - 鄭州

廠家/供應(yīng)商：河南鴻爐機(jī)械設(shè)備有限公司

咨詢電話:：17737149370（請(qǐng)說明信息源自“中冶有色網(wǎng)”）

更新時(shí)間：2025-07-24

級(jí)別：待認(rèn)證

混氣PECVD設(shè)備說明介紹

設(shè)備介紹

KJ-T1200 PECVD 是一種 PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)的管式爐系統(tǒng)，它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴(kuò)散。

產(chǎn)品優(yōu)勢

成品質(zhì)量好

具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)

更好的沉積效率

PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性

所需溫度更低

PECVD對(duì)于化學(xué)氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度

技術(shù)參數(shù)

型號(hào) KJ-T1200 PECVD

等離子射頻電源

輸出功率 5 -500W可調(diào)，均勻性 ± 1%

RF頻率 13.56 MHz ±0.005%