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高溫化學氣相沉積系統(tǒng)

高溫化學氣相沉積系統(tǒng)

201
規(guī)格/型號：KJ-CVD-1700-60*300-F3
品牌：鴻爐機械
應用領域：材料制備
產(chǎn)地：河南 - 鄭州
廠家/供應商：河南鴻爐機械設備有限公司
咨詢電話:：17737149370（請說明信息源自“中冶有色網(wǎng)”）
更新時間：2025-07-24
級別：待認證

高溫化學氣相沉積系統(tǒng)說明介紹

高溫化學氣相沉積系統(tǒng)

設備介紹

該高溫化學氣相沉積系統(tǒng)的工作溫度為300℃至1600℃，配備真空泵，氣體混合裝置。采用溫度控制系統(tǒng)，高溫精度，出色的氣體流量精度，易于操作，出色的隔熱效果和溫度均勻性。 主要用于大學，科研機構和生產(chǎn)企業(yè)進行氣相沉積相關的實驗與生產(chǎn)。

產(chǎn)品優(yōu)勢

剛玉材質爐管

爐管采用剛玉材質，工作溫度可達1600度，具有高溫穩(wěn)定性和耐腐蝕性，加熱均勻性好

PID自動溫控

控溫系統(tǒng)采用PID方式調節(jié)，可以設置30段升降溫程序，控溫精度可以達到±1℃

良好的氣密系統(tǒng)

爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、密封性強，法蘭帶閥門和相關接口，可抽真空通氣氛

技術參數(shù)

產(chǎn)品名稱 高溫化學氣相沉積系統(tǒng)

產(chǎn)品型號 KJ-CVD-1700-60*300-F3

加熱部分

顯示 LED

最高溫度 1700℃

工作溫度 ≤1600℃

升溫速率 建議: 0~10℃/min

加溫溫區(qū) 300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

加熱元件 硅鉬棒

熱電偶 B 型

控溫精度 ±1℃

爐管尺寸 60 x 900mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

剛玉管

溫度控制 PID自動控制

升溫速率 30段可編程

最大工作壓力 0.02MPa

真空部分

真空泵總成 (旋轉葉片泵+擴散泵) 冷態(tài)極限真空6.67*10-3Pa。

真空測量 復合真空計。

真空法蘭 帶閥和針的不銹鋼真空法蘭

質量流量計(3條氣體路線Ar、H2、CH4)

流量范圍 (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM

輸入電壓信號 0 V ~ +5.00 V

輸出電壓信號 0 V ~ +5.00 V
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所屬領域：
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