設(shè)備介紹

此款CVD系統(tǒng)工作溫度為300℃至1200℃，配備真空泵，氣體混合裝置。采用了溫度控制系統(tǒng)，高溫精度，出色的氣體流量精度，易于操作，有非常好的隔熱效果和溫度均勻性。 主要用于大學(xué)，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。此款CVD高溫管式爐適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

真空度自動(dòng)控制

中低真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能

耐沖擊高真空系統(tǒng)

高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng)，耐沖擊真空泵，防止意外漏氣造成真空泵損壞，延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命

PID程控控制系統(tǒng)

控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，該技術(shù)控溫精度高，熱慣性小，溫度不過(guò)沖

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱(chēng) 低真空CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào) KJ-T1200-S60-CVD

管式爐部分

爐體結(jié)構(gòu) 雙層殼體結(jié)構(gòu)，配有冷風(fēng)系統(tǒng)自動(dòng)降溫爐殼溫度

爐膛材質(zhì) 日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡

最高溫度 1200℃

連續(xù)工作溫度 1100℃

升溫速度 推薦≤10℃/min

爐管材料 高純石英管

爐管尺寸 OD:60mm* ID:54mm * 長(zhǎng)1200mm

(其他尺寸可根據(jù)客戶(hù)需求定制)

儀器使用前必須放入管堵，防止熱輻射

加熱區(qū)長(zhǎng)度 220+220+220mm

(其他尺寸可根據(jù)客戶(hù)需求定制)

法蘭 不銹鋼密封法蘭，拆卸方便，法蘭上裝有精密針閥

溫控系統(tǒng) 溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能

1、采用PID方式調(diào)節(jié)控溫，可設(shè)置30段升降溫程序

2、控溫精度±1oC

3、具有過(guò)溫保護(hù)、斷偶保護(hù)

4、儀表具有溫度自整定的功能

加熱元件 含鉬合金電阻絲

測(cè)溫元件 N型熱電偶

進(jìn)出氣口 法蘭上含有真空連接口，進(jìn)出氣口

氣路系統(tǒng)部分

質(zhì)量流量計(jì) 四路精密質(zhì)量流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制。

MFC1 范圍: 0-500 sccm(量程可選)

MFC2 范圍: 0-500 sccm(量程可選)

MFC3 范圍: 0-500 sccm(量程可選)

MFC4 范圍: 0-500 sccm(量程可選)

氣路:4 路

流量精度: 0.2%

真空系統(tǒng)部分

真空泵 1.旋片泵抽速2L/S

2.極限真空度：7*10-2Torr

3.數(shù)顯真空計(jì)，實(shí)時(shí)顯示真空度，真空顯示范圍：1×105--1×10-1pa