工作原理

QV-Active采用雙遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)與閉環(huán)反饋運(yùn)動(dòng)平臺(tái)協(xié)同工作：高分辨率工業(yè)相機(jī)（2000萬(wàn)像素，幀率300fps）搭載定制化雙遠(yuǎn)心鏡頭（數(shù)值孔徑0.5，景深10mm），通過(guò)多波段LED環(huán)形光源（波長(zhǎng)365nm/470nm/630nm可調(diào)）投射均勻平行光至被測(cè)工件表面，消除傳統(tǒng)光源的散射干擾；反射光線經(jīng)相機(jī)捕獲后，由嵌入式AI處理器（Intel Core i9-13900HX）實(shí)時(shí)處理圖像，通過(guò)亞像素級(jí)邊緣檢測(cè)算法（精度達(dá)0.0001mm）提取工件特征，并驅(qū)動(dòng)激光三角位移傳感器（分辨率0.001μm）與壓電陶瓷調(diào)焦模塊（行程5mm，響應(yīng)時(shí)間1ms）自動(dòng)調(diào)整焦距，實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)（±0.0005mm）精準(zhǔn)對(duì)焦；運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)搭載直線電機(jī)（定位精度±0.0002mm，重復(fù)精度±0.00005mm）與光柵尺（分辨率0.00005mm），驅(qū)動(dòng)工件或相機(jī)沿X/Y/Z三軸移動(dòng)，配合真空吸附載物臺(tái)（承重5kg，吸附力0.1-1N可調(diào)）避免微小工件移位；測(cè)量結(jié)果通過(guò)10Gbps光纖實(shí)時(shí)傳輸至云端或本地PC，支持GD&T形位公差分析、3D輪廓重建及SPC統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制，數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為DXF/STL格式，兼容MATLAB、LabVIEW等分析軟件。

應(yīng)用范圍

覆蓋多行業(yè)超精密檢測(cè)場(chǎng)景：半導(dǎo)體封裝（晶圓表面缺陷、芯片引腳間距、BGA焊球直徑）、精密機(jī)械（航空葉片型線、鐘表齒輪齒形、光學(xué)鏡片曲率）、醫(yī)療器件（人工關(guān)節(jié)表面紋理、導(dǎo)管內(nèi)徑、植入物螺紋參數(shù)）及消費(fèi)電子（手機(jī)中框平面度、攝像頭模組鏡片厚度、Type-C接口引腳共面性）等，尤其適合測(cè)量微小工件（如MEMS傳感器、微型齒輪）、透明/反光材料（如藍(lán)寶石玻璃、鍍膜工件）或復(fù)雜曲面（如渦輪增壓器葉輪）；支持與工業(yè)機(jī)器人聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)線在線檢測(cè)，適配節(jié)拍≤1秒/件的自動(dòng)化測(cè)量需求；可選配共聚焦顯微模塊（放大倍率100X-1000X）與X射線透射傳感器，擴(kuò)展至納米級(jí)精密測(cè)量，滿足實(shí)驗(yàn)室級(jí)計(jì)量要求。

技術(shù)參數(shù)

測(cè)量范圍：200mm×150mm×100mm（可擴(kuò)展至400mm×300mm×150mm）；分辨率：0.0001mm；重復(fù)性：±0.00005mm；相機(jī)幀率：300fps（全分辨率）；光源壽命：＞100000小時(shí)；運(yùn)動(dòng)平臺(tái)速度：X/Y軸800mm/s，Z軸500mm/s；載物臺(tái)承重：5kg；工作溫度：15℃~35℃；工作濕度：20%~70%RH（無(wú)冷凝）；電源：AC220V±5% 50/60Hz；重量：150kg（主機(jī)）；防護(hù)等級(jí)：IP40；兼容軟件：Metrolog X4、Calypso、PC-DMIS。

產(chǎn)品特點(diǎn)

全系列通過(guò)瑞士METAS計(jì)量認(rèn)證，雙遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)與AI邊緣計(jì)算使成像畸變率＜0.01%，測(cè)量數(shù)據(jù)一致性提升90%；壓電陶瓷調(diào)焦模塊與直線電機(jī)組合實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制，重復(fù)測(cè)量誤差較傳統(tǒng)設(shè)備降低80%；模塊化設(shè)計(jì)支持光源、相機(jī)、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)快速更換，適配不同尺寸工件檢測(cè)需求；配備自清潔空氣過(guò)濾系統(tǒng)與恒溫控制模塊（溫度波動(dòng)＜0.1℃/h），可有效過(guò)濾0.1μm以上顆粒物并維持20℃±0.1℃測(cè)量環(huán)境，確保數(shù)據(jù)穩(wěn)定性；10英寸觸摸屏集成一鍵測(cè)量、自動(dòng)編程與遠(yuǎn)程診斷功能，操作門檻降低75%。QV-Active以“納米級(jí)精度、毫秒級(jí)響應(yīng)”的特性，成為工業(yè)精密測(cè)量的標(biāo)桿設(shè)備。