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前端預(yù)熱雙溫區(qū)CVD設(shè)備

前端預(yù)熱雙溫區(qū)CVD設(shè)備

1906
規(guī)格/型號:BTF-1200C-II φ50mm
品牌:暫無
應(yīng)用領(lǐng)域:暫無
產(chǎn)地:安徽 - 合肥
廠家/供應(yīng)商:安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
咨詢電話::暫無(請說明信息源自“中冶有色技術(shù)網(wǎng)”)
更新時間:2021-12-08
級別:待認(rèn)證

前端預(yù)熱雙溫區(qū)CVD設(shè)備說明介紹

主要技術(shù)指標(biāo): 
雙溫區(qū)開啟式真空管式爐BTF-1200C-II φ50mm

設(shè)備特點:
1200℃開啟式真空管式爐不僅可以抽真空,也可以通氣體保護(hù)。其結(jié)構(gòu)使得拆裝爐管方便,操作簡捷,使用者可直接將密封腔體移出爐體,加快降溫過程,透明石英管腔體可直觀的看到樣品燒結(jié)狀態(tài)。法蘭采用卡箍快捷接頭,減去了取放料時的繁瑣操作, 爐管工件橫穿與上下各6組進(jìn)口電阻絲的爐膛,溫場均勻,內(nèi)外溫差可控制在3度左右,氣動彈簧支撐結(jié)構(gòu)讓操作者可各角度安全開啟。廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米材料碳纖維、石墨烯新材料、新工藝領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù):
爐管尺寸:Φ50*1200mm
加熱元件:電阻絲
加熱區(qū)長度:200+200mm
恒溫區(qū)長度:100+100mm
工作溫度≤1100℃
控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能
控溫精度:±1℃
推薦升溫速度:15℃/ min
爐門結(jié)構(gòu):開啟式
工作電源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz
額定功率:3KW
外型尺寸:590×380×500 mm
密封系統(tǒng):爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭)端口可按實際使用擴(kuò)展。 
預(yù)熱器BTF-400C
工作溫度:350℃
最高溫度:400℃
最快升溫速率:30℃/min
推薦升溫速率:10℃/min
控溫方式:智能化30段可編程控制
工作電壓:AC220 V
額定功率:800W
控溫精度:±1℃
加熱元件:電阻絲 

兩路供氣系統(tǒng) GMF-2Z   
供氣系統(tǒng)是一種可控制兩種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比,也可根據(jù)實驗需求加裝洗氣裝置,質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動機柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。觸摸屏控制。

連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。
標(biāo)準(zhǔn)量程(N2): 500sccm、500sccm(量程可選)

H2、Ar、N2質(zhì)量流量計選用S49 32/MT系列,指標(biāo)如下:
準(zhǔn)確度:±1.5%
線性:±1.5%
重復(fù)精度:±0.2%
響應(yīng)時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍:(50 ~ 300) kPa(D),(100~300)kPa(D)(10L/min)
最大壓力:3MPa
接口:Φ6,1/4''
顯示:液晶屏顯示
工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體
內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6
壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥:Φ6
低真空機組 VAU-02 
VAU-02是一套低真空機組,內(nèi)部安裝BSV-10機械泵1臺,電阻真空計1套,并含有配套使用的波紋管,手動擋板閥,卡箍等連接部件。

技術(shù)參數(shù):

工作環(huán)境:5℃~40℃
空氣相對濕度≤85%,
工作電電壓:220V±10% 50~60HZ
功率:1千瓦
抽氣速率:10m3/h
極限真空:5X10-1Pa
工作壓力范圍為1.01325X105~1.33X10-2Pa
耐壓值為0.03MPa
容油量:1.1L
進(jìn)氣口口徑:KF25
排氣口口徑:KF25
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企業(yè)認(rèn)證:
  
所屬領(lǐng)域:
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企業(yè)性質(zhì):
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經(jīng)營范圍:
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