工作原理

JDS-1基于激光干涉原理，采用分光鏡將激光束分為參考光與測量光：參考光照射至固定參考鏡，測量光通過接觸式探頭照射至被測表面。當探頭接觸樣本時，測量光路因表面形貌變化產(chǎn)生光程差，與參考光疊加形成干涉條紋。設(shè)備通過光電探測器捕捉條紋移動，結(jié)合接觸式觸發(fā)信號，將位移變化轉(zhuǎn)換為電信號，最終由數(shù)字系統(tǒng)處理并顯示測量結(jié)果，實現(xiàn)表面輪廓或形位誤差的定量分析。

應(yīng)用范圍

適用于光學(xué)元件表面粗糙度檢測（如透鏡、棱鏡）、半導(dǎo)體晶圓平整度測量（如TTV、LTV）、精密機械零件形位誤差分析（如圓度、平面度），以及科研實驗中納米級位移校準。廣泛服務(wù)于光學(xué)制造、半導(dǎo)體封裝、航空航天及計量院所，助力質(zhì)量控制與工藝優(yōu)化。

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

測量范圍：0-100μm（垂直方向）

測量精度：±(0.01+L/100)μm（L為測量長度，單位mm）

分辨率：0.1nm（納米級）

光源：He-Ne激光器（波長632.8nm，功率2mW）

探頭類型：紅寶石接觸式探頭（觸點直徑1mm）

數(shù)據(jù)接口：USB 2.0（支持PC軟件控制）

工作溫度：20℃±1℃（需恒溫環(huán)境）

電源：AC 220V/50Hz（內(nèi)置UPS不間斷電源）

產(chǎn)品特點

接觸觸發(fā)與非接觸測量結(jié)合：接觸式探頭確保測量定位精準，干涉技術(shù)實現(xiàn)納米級分辨率，兼顧操作便捷性與數(shù)據(jù)準確性。

高穩(wěn)定性激光光源：采用He-Ne激光器，波長穩(wěn)定性優(yōu)于0.001%，確保長期測量可靠性。

數(shù)字化數(shù)據(jù)處理：支持PC軟件控制，可實時顯示表面輪廓曲線、生成3D形貌圖，并導(dǎo)出CSV數(shù)據(jù)文件。

環(huán)境適應(yīng)性設(shè)計：內(nèi)置溫度補償模塊，減少環(huán)境波動對測量的影響；防振臺設(shè)計降低外部干擾。

模塊化擴展：可選配不同規(guī)格接觸式探頭（如0.5mm觸點），適配微小零件檢測需求。