工作原理

氣浮式三坐標(biāo)測量儀564CNC基于氣浮導(dǎo)軌技術(shù)和空間坐標(biāo)測量原理。其核心部件——?dú)飧?dǎo)軌，通過向?qū)к壟c運(yùn)動部件之間持續(xù)供應(yīng)高壓氣體，形成一層極薄的氣膜，使運(yùn)動部件懸浮在氣膜上，實(shí)現(xiàn)了近乎無摩擦的運(yùn)動。測量時(shí)，X、Y、Z三個軸向的運(yùn)動部件在氣浮導(dǎo)軌上精確移動，測量探針接觸被測工件表面產(chǎn)生微小位移。高精度光柵尺實(shí)時(shí)捕捉各軸的位移變化，將信號傳輸給控制系統(tǒng)。控制系統(tǒng)依據(jù)預(yù)設(shè)程序和算法，結(jié)合位移數(shù)據(jù)，精準(zhǔn)計(jì)算出探針在三維空間中的坐標(biāo)，從而構(gòu)建出工件的幾何形狀和尺寸信息。

應(yīng)用范圍

廣泛應(yīng)用于航空航天領(lǐng)域，對飛機(jī)發(fā)動機(jī)葉片、機(jī)翼零部件等高精度工件進(jìn)行測量，保障飛行安全；在汽車制造行業(yè)，可對發(fā)動機(jī)缸體、變速器殼體等復(fù)雜零部件進(jìn)行尺寸和形位公差檢測，確保零部件的裝配精度；電子制造中，對精密電子元件、半導(dǎo)體芯片等進(jìn)行尺寸測量和缺陷檢測，提高產(chǎn)品質(zhì)量；模具制造時(shí)，能快速測量模具的型腔、型芯尺寸，縮短模具制造周期。

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

測量范圍為X軸500mm、Y軸600mm、Z軸400mm，滿足中小型高精度工件的測量需求。測量精度高達(dá)(1.5 + L/400)μm（L為測量長度，單位：mm），重復(fù)性精度小于0.6μm，最大驅(qū)動速度為400mm/s，加速度為700mm/s2。

產(chǎn)品特點(diǎn)

氣浮導(dǎo)軌技術(shù)使運(yùn)動部件摩擦極小，運(yùn)動平穩(wěn)，有效提高了測量精度和穩(wěn)定性。具備高精度、高速度的測量能力，能在短時(shí)間內(nèi)完成復(fù)雜工件的測量任務(wù)。操作簡便，配備直觀的軟件界面，測量人員經(jīng)簡單培訓(xùn)即可上手。同時(shí)，儀器具有良好的環(huán)境適應(yīng)性，能在不同溫度、濕度條件下穩(wěn)定工作。