NP-CMP化學機械拋光液制備設備主要用于CMP(化學機械拋光液)(包括基于氧化硅納米顆粒的拋光液、氧化鈰納米顆粒的拋光液、碳化硅化學機械拋光液、氧化鋁體系和硅溶膠體系的超精密加工類化學機械拋光液)的分散和各種微納米材料、新能源材料、無機阻燃劑等的破碎、分散、分級、改性等。

NP-CMP化學機械拋光液制備設備經(jīng)過測試的工藝路線，已經(jīng)實現(xiàn)量產(chǎn)The tested process route has achieved mass production ;

智能控制，實時監(jiān)測，完整數(shù)據(jù)存儲，直觀顯示圖、表Intelligent control, real-time monitoring, complete data storage, intuitive display of charts and tables;

轉速可調，溫度可控，超聲波強度可調，可定時Rotating speed adjustable， Temperature controlled， Ultrasonic intensity adjustable， Timed ;

操作方便簡潔，清洗容易 Easy and simple operation，easy to clean。

NP-CMP化學機械拋光液制備設備 參數(shù)：

Items實驗型Experiment Type生產(chǎn)型Production Type

溫度Temperature(℃)-30℃~80℃-20℃~80℃

分散方式Dispersion Type連續(xù)式continuous連續(xù)式continuous

材質Material quality玻璃、不銹鋼、鈦 glass or stainless steel不銹鋼、鈦stainless steel

規(guī)格Specification依容積depend on volume定制customized

流量Flow rate50~1000ml/min可定制customized

介質粘度media viscosity≤104cP≤104cP

攪拌轉速agitation speed500~3000rpm依實際需求選擇500~3000rpm依實際需求選擇

剪切轉速agitation speed1400~20000rpm依實際需求選擇1400~12000rpm依實際需求選擇

電源Power220V/50Hz220V/50Hz 、380V/50Hz

超聲功率Ultrasonic power200~3000W定制customized

超聲頻率Ultrasonic Frequency20KHz、28KHz、40KHz、68KHz20KHz、28KHz、40KHz、68KHz

顯示方式Display model數(shù)顯、液晶觸摸屏digital display,LCD touch screen 依據(jù)需要可選擇液晶觸摸屏LCD touch screen

溫度、功率可調Temperature、power adjustment