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高真空熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

高真空熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

344
規(guī)格/型號：暫無
品牌：科誠
應(yīng)用領(lǐng)域：冶金
產(chǎn)地：遼寧 - 沈陽
廠家/供應(yīng)商：沈陽科誠真空技術(shù)有限公司
咨詢電話:：13998121527（請說明信息源自“中冶有色網(wǎng)”）
更新時間：2025-03-28
級別：待認證

高真空熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備說明介紹

高真空熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

高真空熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備是一種利用電阻加熱或電子束加熱使材料蒸發(fā)，并在高真空環(huán)境下沉積到基片表面形成薄膜的 物理氣相沉積(PVD) 設(shè)備。該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于光學薄膜、電子器件、裝飾鍍膜等領(lǐng)域。

設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)：

1、 極限真空≤6*10-5pa

2、 恢復設(shè)備工作真空≤6*10-4pa，小于40min(新設(shè)備充干燥氮氣)

3、 蒸發(fā)舟配置手動磁耦合擋板

4、 設(shè)備配置樣品托架一套，掩膜板一套

5、 18個束源爐最高溫度為600℃，控溫精度為±1℃

6、 設(shè)備總體漏率：關(guān)機停泵12小時后，真空度≤10pa

7、 蒸發(fā)源與襯底間距180mm±60mm

8、 手套箱的水氧含量小于1ppm

設(shè)備主要配置：

1、 真空腔體采用真空專用304#不銹鋼制造，內(nèi)徑480mm，高495mm(可根據(jù)實際需要進行定制)

2、 鉭蒸發(fā)舟組件6套，束源爐18套

3、 蒸發(fā)舟加熱電源2臺，束源爐加熱電源6臺，并配置手動轉(zhuǎn)換機構(gòu)

4、 配置CF150超高真空閘板閥二臺，配置CF35超高真空角閥二支，配置放氣閥二支，配置CF16充氣閥二支，電阻規(guī)二支，電離規(guī)二支

5、 可升降可旋轉(zhuǎn)樣品沉積轉(zhuǎn)臺，基片架機構(gòu)一套，旋轉(zhuǎn)速度2～30轉(zhuǎn)/分連續(xù)可調(diào)

6、 過渡室配置CF200閘板閥二臺

7、 烘烤照明系統(tǒng)一套、襯底總擋板一套、CF100玻璃金屬觀察窗及擋板二套及CF63玻璃金屬觀察窗及擋板一套、金屬陶瓷焊接電極若干、控制柜二套

8、 配置600L/S分子泵二臺、配置2XZ-8機械泵二臺、前級管路三套，配置￠32不銹鋼金屬波紋管管路
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