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電子半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理設(shè)備

電子半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理設(shè)備

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規(guī)格/型號(hào)：暫無
品牌：天興環(huán)保
應(yīng)用領(lǐng)域：環(huán)境保護(hù)
產(chǎn)地：江蘇 - 常州
廠家/供應(yīng)商：江蘇天興環(huán)保股份有限公司
咨詢電話:：0519-86215188（請(qǐng)說明信息源自“中冶有色網(wǎng)”）
更新時(shí)間：2023-07-12
級(jí)別：待認(rèn)證

電子半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理設(shè)備說明介紹

電子半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理設(shè)備

處理工藝:氮氧化物濃度較高的采用四級(jí)串聯(lián)高濃度酸霧凈化塔，添加氫氧化鈉、硫化鈉進(jìn)行洗滌處理;氮氧化物濃度較低的采用兩級(jí)串聯(lián)酸霧凈化塔，添加氫氧化鈉進(jìn)行洗滌處理。

主要特點(diǎn):凈化效率高，結(jié)構(gòu)緊湊，耐腐蝕，耐老化性能好,自動(dòng)化控制，操作簡(jiǎn)單，廣泛應(yīng)用于太陽能、電子半導(dǎo)體等行業(yè)。

PECVD設(shè)備尾氣主要包含硅烷SiH及氨氣NH等。

處理工藝:不銹鋼燃燒筒一不銹鋼硅烷燃燒洗滌塔氨氣洗滌塔+離心風(fēng)機(jī)

主要特點(diǎn):硅烷去除率高， 氨氣及其他水溶性氣體凈化率高，占地面積小，耐腐蝕，便于維修。


電子半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理設(shè)備

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所屬領(lǐng)域：
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企業(yè)性質(zhì)：
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