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立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)

立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)

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規(guī)格/型號:VCVD-0305-C
品牌:頂立科技
應(yīng)用領(lǐng)域:材料制備
產(chǎn)地:湖南 - 長沙
廠家/供應(yīng)商:湖南頂立科技股份有限公司
咨詢電話::4006770098(請說明信息源自“中冶有色技術(shù)網(wǎng)”)
更新時間:2025-02-20
級別:待認(rèn)證

立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)說明介紹

立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)

立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)


品牌:頂立科技

產(chǎn)地:湖南

型號:立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)

核心參數(shù)

非金屬電熱元件:其他

金屬電熱元件:其他

燒結(jié)氣氛:其他

立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)技術(shù)特征

電阻爐可采用多溫區(qū)獨立控溫,溫度均勻性好;

采用智能壓力調(diào)控,壓力波動??;

全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);

多通道工藝氣路,流程均勻,無沉積死角,沉積效果好;

多級高效尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,能高效收集焦油及副產(chǎn)物,易清理;

可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng),降溫時間短,生產(chǎn)效率高;

立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)產(chǎn)品規(guī)格



立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)配置選擇

結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動/自動

爐殼材質(zhì):全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

加熱器、馬弗:石墨/CFC/金屬

熱電偶:K/N/C/S分度號

電源:KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)
立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)
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4006770098
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