立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)
品牌:頂立科技
產(chǎn)地:湖南
型號:立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)
核心參數(shù)
非金屬電熱元件:其他
金屬電熱元件:其他
燒結(jié)氣氛:其他
立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)技術(shù)特征
電阻爐可采用多溫區(qū)獨立控溫,溫度均勻性好;
采用智能壓力調(diào)控,壓力波動??;
全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
多通道工藝氣路,流程均勻,無沉積死角,沉積效果好;
多級高效尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,能高效收集焦油及副產(chǎn)物,易清理;
可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng),降溫時間短,生產(chǎn)效率高;
立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)產(chǎn)品規(guī)格
立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)配置選擇
結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動/自動
爐殼材質(zhì):全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/
碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器、馬弗:石墨/CFC/金屬
熱電偶:K/N/C/S分度號
電源:KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)