RTP-1000-LV3C 900℃帶3路浮子混氣RTP管式爐
應用范圍:RTP-1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速熱處理) 管式爐。配有三路流量計和一個機械泵(真空度達 10-3 torr )。他專為半導體基片和
太陽能電池或其他樣品(尺寸可達 3" )退火而設計。 這款設備是采用 9KW的紅外燈加熱,最快升溫速度是 100oC/秒. 30 段精確溫度控制,精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制軟件可以通過計算機控制爐子運行并顯示溫度曲線。安裝在移動架里的三路氣體控制和
真空泵跟RTP 爐體相連接。
產(chǎn)品型號 :RTP-1000-LV3C
上架時間 :2019-07-18
安裝尺寸:600 mm (L) x 600 mm (W) x 597 mm ( H)
重量:210 lbs
RTP-1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速熱處理) 管式爐。配有三路流量計和一個機械泵(真空度達 10-3 torr )。他專為半導體基片和太陽能電池或其他樣品(尺寸可達 3" )退火而設計。 這款設備是采用 9KW的紅外燈加熱,最快升溫速度是 100oC/秒. 30 段精確溫度控制,精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制軟件可以通過計算機控制爐子運行并顯示溫度曲線。安裝在移動架里的三路氣體控制和真空泵跟RTP 爐體相連接。
性能指標和基本配置