25KW程序控溫感應熔煉爐SP-25TC
產(chǎn)地:廣東
產(chǎn)品介紹
25KW程序控溫感應熔煉爐SP-25TC是一款小型程控感應熔煉系統(tǒng),配備有直徑?100mm的石英管、不銹鋼法蘭、
石墨坩堝、
真空泵、水冷機和移動架,最大功率為25KW,是生長晶體和合金熔煉(熔點< 1700oC)的理想選擇。
25KW程序控溫感應熔煉爐SP-25TC操作視頻
產(chǎn)品型號
25KW程序控溫感應熔煉爐SP-25TC
安裝條件
本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:設備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)
2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開關),必須有良好接地
3、氣:設備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶?6mm雙卡套接頭)
4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通風裝置:需要
主要特點
1、配有可耐1800℃的高純
氧化鋁纖維制作的
耐火磚,用于支撐石墨坩堝,并防止熱量輻射。
2、設有自動水壓、過熱、功率過高保護系統(tǒng)。
3、溫控器采用PID方式控溫,可設置30段升降溫程序,設有過熱和斷偶保護功能。
4、配有防腐型真空計,當氣壓在10mbar以上時,不需因測量氣體種類的不同進行系數(shù)轉(zhuǎn)換,量程可到3.8×10E-5 torr。
5、配有雙旋直連式機械泵。
技術參數(shù)
高頻感應加熱爐
1、工作電壓:三相AC 380V 50Hz(需60A空氣開關)
2、最大輸入功率:15KW
3、振蕩頻率:30KHz-80KHz
4、循環(huán)比:80%
5、感應線圈:外徑?120mm,內(nèi)徑?110mm,高50mm(可微調(diào))
溫度控制器
1、工作電壓:AC208V-240V 單相
2、控溫精度:±5℃
3、溫度:連續(xù)工作溫度1000℃-2000℃,最高工作溫度1700℃(工作時間<30min)
4、最大升溫速率:1℃/s(0-1000℃)、0.5℃/s(1200℃-1700℃)
石墨坩堝(易耗件)
1、高純石墨坩堝:外徑?40mm,內(nèi)徑?37.1mm,高100.5mm(可選購SiC涂層,涂在坩堝內(nèi)部,以提高金屬熔煉時的潔凈度)
2、最大容量:樣品所占容積應為石墨坩堝容積的1/2
石英管和密封法蘭
1、石英管:外徑?100mm,內(nèi)徑?92mm,長355mm
2、頂部法蘭:不銹鋼法蘭,裝有不銹鋼針閥,設有1個鎧裝接口(可插入熱電偶至石英管內(nèi)部,更準確地測量樣品溫度)
3、底部法蘭:設有不銹鋼針閥和KF25接口(可通過波紋管與真空泵相連接)
水冷機
1、溫度:5℃-30℃
2、水流速:16L/min
3、水箱容積:12L,采用不銹鋼制作
(建議使用特定的冷卻劑液以達到***冷卻效果)
真空泵
1、工作電壓:AC208V-240V單相
2、抽氣速率:120L/min
3、極限真空度:10-2torr
(為了獲得更高的真空度以達到更好的熔煉效果,可選購渦旋分子泵,真空度可達10E-5torr)
注意事項
操作前,必須仔細閱讀說明書,且操作人員需帶防護面罩。使用時,熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動氬氣下進行,流量小于200ml/min,需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時刻注意石英管內(nèi)的氣壓,若氣壓超過安
全值,會引起石英管開裂、法蘭蹦出,甚至造成人身傷害。
其他事項
本機可改為RTP(快速熱處理爐)和混合物物理化學氣相沉積(HPCVD)系統(tǒng)。