SKJ-50晶體生長爐
型號:SKJ-50
產(chǎn)地:廣東
產(chǎn)品介紹
SKJ-50晶體生長爐是用提拉法生長高質(zhì)量氧化物單晶及金屬單晶,如藍(lán)寶石、GGG、YAG、SrLaAlO4、LaAlO3、Si、Ge等,最大可長出晶體尺寸達(dá)3" 。
產(chǎn)品型號
SKJ-50晶體生長爐
安裝條件
本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)
2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開關(guān)),必須有良好接地
3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶?6mm雙卡套接頭)
4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通風(fēng)裝置:需要
主要特點
1、與同類相比屬于小型晶體生長爐,適合于大專院校、研究所使用。
2、電子稱在生長過程中可自動控制晶體的直徑。
技術(shù)參數(shù)
1、電源:三相380V 25KW
2、感應(yīng)射頻:功率25KW,射頻0.2KHz-20KHz
3、真空腔體:?500mm×700mm
4、真空度:10-3torr(機械泵),10-5torr(擴散泵)
5、最大提拉行程:500mm
6、提拉速度:0.1mm/h-20mm/h
7、籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度:0-40rpm
8、最大可熔融溫度:2100℃
9、控溫精度:<±0.2℃
10、冷卻水:所需水壓0.13MPa-0.18MPa,所需流量60L/min
11、移動速度:1mm/h-10mm/h可調(diào)
12、快速移動:手動
13、結(jié)晶轉(zhuǎn)速:1rpm-50rpm
14、真空系統(tǒng):機械泵和擴散泵
15、極限真空度:10-5torr
產(chǎn)品規(guī)格
1、爐體:880mm×1250mm×2850mm
2、控制柜:680mm×540mm×1700mm
3、中頻柜:1100mm×500mm×1500mm
4、總重:1500kg