本發(fā)明提供了一種廢氣處理設(shè)備及設(shè)備的保護(hù)方法，屬于環(huán)保領(lǐng)域，包括噴淋塔，噴淋塔與甩離裝置連接，甩離裝置與光氧催化凈化器、低溫等離凈化器連接，廢氣依次通過(guò)噴淋塔和甩離裝置進(jìn)入光氧催化凈化器、低溫等離凈化器中，所述的低溫等離凈化器中設(shè)有放電針裝置、噴淋裝置、溫度檢測(cè)裝置、吹干風(fēng)機(jī)，放電針裝置、噴淋裝置、溫度檢測(cè)裝置、吹干風(fēng)機(jī)均與一中央控制模塊連接，中央控制模塊控制放電針裝置電源的啟閉和噴淋裝置的電磁閥的啟閉。該發(fā)明對(duì)低溫等離凈化器進(jìn)行了有效的保護(hù)，可防止反應(yīng)的過(guò)程因高溫爆炸，防止電子元器件進(jìn)水失效，本設(shè)備實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)監(jiān)控，一鍵使用的目標(biāo)。