本發(fā)明公開(kāi)了一種超導(dǎo)材料低溫微波表面電阻多模測(cè)試裝置以及方法，該裝置包括圓柱形金屬腔體以及填充于金屬腔體中的介質(zhì)材料，金屬腔體底面設(shè)有樣品孔，樣品孔的中心軸位于金屬腔體底面的中心。利用上述測(cè)試裝置測(cè)試微波表面電阻的多模測(cè)試方法，包括以下步驟：S1、將高純鈮置于樣品孔中，分別測(cè)量出TE₀₁₁工作模式和TE₀₂₁工作模式下的無(wú)載品質(zhì)因數(shù)；S2、將待測(cè)樣品置于樣品孔中，分別測(cè)量出TE₀₁₁工作模式和TE₀₂₁工作模式下的無(wú)載品質(zhì)因數(shù)；S3、根據(jù)相關(guān)公式即可計(jì)算待測(cè)樣品在TE₀₁₁工作模式和TE₀₂₁工作模式下的微波表面電阻值。該裝置及方法利用填充介質(zhì)圓柱諧振腔的多個(gè)模式，可對(duì)低溫下小尺寸樣品在較低頻率下的微波表面電阻進(jìn)行直接無(wú)損測(cè)量，測(cè)量不確定度低。