本發(fā)明公開了一種基于數(shù)字全息的石英振梁加速度計(jì)擺片的三維形貌檢測方法。該發(fā)明采用像面數(shù)字全息技術(shù)，獲取擺片表面的全息圖，利用參考全息圖補(bǔ)償高階像差，對再現(xiàn)相位圖進(jìn)行解包裹運(yùn)算，進(jìn)而獲得擺片表面的三維形貌。同時(shí)對撓性支撐結(jié)構(gòu)采用雙波長數(shù)字全息記錄方法，分段測量撓性支撐結(jié)構(gòu)的三維形貌，通過計(jì)算系統(tǒng)景深及軸向成像范圍，多步再現(xiàn)，數(shù)字?jǐn)U展景深，最后對各段測量結(jié)果曲面擬合，完成撓性支撐結(jié)構(gòu)的三維重構(gòu)。本發(fā)明因數(shù)據(jù)處理過程完全數(shù)字化，具有檢測速度快、測量精度高、無損傷、三維面測量等優(yōu)點(diǎn)，適用于多種加速度計(jì)擺片表面三維形貌檢測，本發(fā)明可用于加速度計(jì)擺片的質(zhì)量檢測等。