本實用新型涉及一種在線無損檢測極紫外激光脈沖能量及光束空間位置的裝置。本實用新型中的第一電離室和第二電離室均由真空腔室和真空泵組成，真空腔室由真空泵獨立抽真空；第一電離室和第二電離室均安裝有真空計和針閥；第一電離室內(nèi)還配備電阻溫度計，用于檢測第一電離室內(nèi)的環(huán)境溫度。本實用新型中的帶電粒子檢測器包括離子約束電極板，加速電極板，分裂電極板，電流計，微型通道電子倍增管以及示波器。本實用新型對待測激光的脈沖能量及其空間位置信息實現(xiàn)同時在線無損檢測，簡化了檢測的操作流程，兼顧了激光的檢測與使用，使檢測裝置后端的用戶用光效率大為提高，所獲取的待測激光的檢測參數(shù)更具時效性和精確性。