本發(fā)明公開了一種潔凈室腐蝕性氣體來源確定方法，包括如下步驟：（1）提供一潔凈室；（2）監(jiān)測每個所述檢測機構(gòu)的腐蝕試片的電性能參數(shù)確定受害區(qū)；（3）采集腐蝕試片并辨識出腐蝕性氣體包含的化學(xué)物質(zhì)；（4）采集潔凈室周圍的環(huán)境空氣并辨識出環(huán)境空氣包含的化學(xué)物質(zhì)；（5）確定各個機臺使用的化學(xué)物質(zhì)和各個工藝使用的化學(xué)物質(zhì)及其衍生物；（6）確定腐蝕性氣體的可疑來源；（7）通過計算流體動力學(xué)模型模擬各個可疑來源釋放的化學(xué)物質(zhì)的流動；（8）確定為腐蝕性氣體的來源。本發(fā)明的潔凈室腐蝕性氣體來源確定方法，不但能夠檢測受害區(qū)，而且可以確定腐蝕性氣體來源，對潔凈室的污染問題達到標準兼職的目的。