本發(fā)明公開(kāi)了一種法布里-珀羅諧振腔共振發(fā)光懸臂梁系統(tǒng),它主要由光電轉(zhuǎn)換元件、基底、FABRY-PEROT諧振腔固定反射鏡、諧振腔內(nèi)光源、樣品室、FABRY-PEROT諧振腔動(dòng)反射鏡、諧振腔外光源、激勵(lì)用上壓電陶瓷、硅微懸臂梁、激勵(lì)用下壓電陶瓷和探針組成。本發(fā)明的FABRY-PEROT諧振腔共振發(fā)光懸臂梁系統(tǒng)能夠主動(dòng)發(fā)射振動(dòng)調(diào)制的變化諧振頻率光;可以檢測(cè)待測(cè)樣品光譜成分以及外界因素引起的懸臂梁撓曲、變形的能力。另外,還可應(yīng)用于化學(xué)成分、分子生物樣品傳感、檢測(cè),超精密機(jī)械表面輪廓測(cè)量,物理譜成份分析等多種技術(shù)領(lǐng)域。