本發(fā)明公布了一種微納米測量設備用高精度高靈敏彈性簧片的制作方法，其特征在于：采用化學蝕刻的方法制作高靈敏彈性簧片，包括設計圖案、菲林片打印、鈹銅片表面處理、貼覆感光膜、加固感光膜、曝光、顯影、腐蝕和脫膜九個步驟。本發(fā)明的制作方法與傳統(tǒng)方法相比，成本較低、方法簡單、易于實現(xiàn)、易于加工復雜圖案的彈性簧片；且采用本發(fā)明方法加工出的彈性簧片的性能參數(shù)(如圓度、直線度、邊緣粗糙度等參數(shù))優(yōu)于采用傳統(tǒng)方法加工出的彈性簧片。